Можете да бъдете спокойни, че купувате носители за вафли от графитен субстрат с SiC покритие за MOCVD от нашата фабрика. В Semicorex ние сме мащабен производител и доставчик на графитен ток с покритие от SiC в Китай. Нашият продукт има добро ценово предимство и покрива много от европейските и американските пазари. Ние се стремим да предоставим на нашите клиенти висококачествени продукти, отговарящи на техните специфични изисквания. Нашият носач на пластини с графитен субстрат със SiC покритие за MOCVD е отличен избор за тези, които търсят високоефективен носител за техния производствен процес на полупроводници.
Графитният субстрат с покритие SiC за MOCVD играе решаваща роля в процеса на производство на полупроводници. Нашият продукт е много стабилен дори в екстремни среди, което го прави отличен избор за производството на висококачествени вафли.
Характеристиките на нашите носители на пластини с графитен субстрат с SiC покритие за MOCVD са изключителни. Неговата плътна повърхност и фини частици повишават устойчивостта му на корозия, което го прави устойчив на киселина, основи, сол и органични реагенти. Носачът осигурява равномерен топлинен профил и гарантира най-добрия модел на ламинарен газов поток, предотвратявайки разпространението на замърсяване или примеси в пластината.
Параметри на носители на вафли от графитен субстрат с SiC покритие за MOCVD
Основни спецификации на CVD-SIC покритие |
||
SiC-CVD свойства |
||
Кристална структура |
FCC β фаза |
|
Плътност |
g/cm³ |
3.21 |
твърдост |
Твърдост по Викерс |
2500 |
Размер на зърното |
μm |
2~10 |
Химическа чистота |
% |
99.99995 |
Топлинен капацитет |
J kg-1 K-1 |
640 |
Температура на сублимация |
℃ |
2700 |
Felexural Сила |
MPa (RT 4 точки) |
415 |
Модулът на Йънг |
Gpa (4pt завой, 1300 ℃) |
430 |
Термично разширение (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлопроводимост |
(W/mK) |
300 |
Характеристики на SiC покрит графитен ток за MOCVD
- Избягвайте отлепването и осигурете покритие върху цялата повърхност
Устойчивост на високотемпературно окисляване: Стабилен при високи температури до 1600°C
Висока чистота: направено чрез CVD химическо отлагане на пари при условия на високотемпературно хлориране.
Устойчивост на корозия: висока твърдост, плътна повърхност и фини частици.
Устойчивост на корозия: киселини, основи, соли и органични реагенти.
- Постигане на най-добрия модел на ламинарен газов поток
- Гарантирана равномерност на термичния профил
- Предотвратете всякакво замърсяване или дифузия на примеси