Газоотклоняващи дискове с SiC покритие

Като отличен пример за усъвършенствани полупроводникови материали и авангардни производствени технологии, SemicorexSiC покритиеДисковете за отклоняване на газ са прецизно произведени от графит с висока чистота, тъй като техните матрици са с плътно SiC покритие чрез химическо отлагане на пари. Дисковете за отклоняване на газ са предназначени главно да разпределят реакционния газ равномерно по повърхността на вафлата, за да осигурят пълни реакции по време на обработката, като по този начин улесняват образуването на последователни и еднакви монокристални тънки филми.

Предимствата на дисковете за отклоняване на газ с SiC покритие от Semicorex

1.Висока чистота на материала

Semicorex поддържа строги стандарти за качество на продуктите, започвайки от внимателен подбор на материали. Благодарение на този строг контрол на чистотата на суровината, дисковете за отклоняване на газ с SiC покритие от Semicorex осигуряват ниско съдържание на примеси и се отличават с изключителна чистота. Това може значително да попречи на металните йони и други замърсители да компрометират епитаксиалните процеси на полупроводниците.

2. Превъзходна термична стабилност

Компонентите, използвани в тези системи, трябва да имат изключителна термична стабилност, тъй като полупроводниковото епитаксиално оборудване обикновено работи при температури над 1400°C. Тази изключителна термична стабилност може да гарантира, че дисковете за отклоняване на газ с покритие Semicorex SiC издържат на предизвикателните условия на работа при висока температура и може ефективно да предотврати освобождаването на примеси, причинено от висока температура по време на работа, което помага да се гарантира качеството и добива на епитаксиалните пластини.

3. Забележителна устойчивост на корозия при висока температура

Незащитените графитни матрици са податливи на корозия и генериране на частици, поради което дисковете за отклоняване на газ обикновено се третират с покритие от силициев карбид, за да се подобри тяхната устойчивост на корозия. Покрити с плътно SiC покритие,  Semicorex SiC-покрити газови отклоняващи дискове предлагат отлична устойчивост на окисление и химическа корозия, което им позволява да функционират стабилно през дълъг експлоатационен живот дори при предизвикателни условия на работа при висока температура и корозивност.

4. Гъвкави възможности за персонализиране

Semicorex е оборудван с множество усъвършенствани обработващи съоръжения, като CNC машинно оборудване, машини за повърхностно шлайфане и ултразвуково пробивно оборудване, предлагащи опитни възможности за обработка. Semicorex е в състояние да предложи гъвкави услуги за персонализиране според чертежите на клиента и да приспособи размерите, допуските, плоскостта на повърхността, диаметрите на отворите и разстоянията между отворите на покрити със SiC дискове за отклоняване на газ, за ​​да осигури безпроблемна съвместимост с епитаксиалното оборудване на клиентите.