SiC керамични вафлени лодки

Изборът на надеждни и издръжливи лодки за пластини е от решаващо значение за осигуряване на стабилност на процеса и добив на пластини по време на работни условия при висока температура и висока корозия. SemicorexSiC керамикаВафлените лодки са идеалният избор за тези цели, като се възползват от многобройните им предимства, включително висока интеграция, висока стабилност, устойчивост на висока температура, устойчивост на износване и дълъг експлоатационен живот.

Премиум селекция от суровини

Контролът на качеството на Semicorex върхуSiC керамични вафлени лодкизапочва с тяхната строга селекция на суровини. Керамичните вафлени лодки Semicorex SiC са направени от прах от силициев карбид с висока чистота на ниво полупроводник чрез високотемпературно синтероване. Благодарение на своята първокласна суровина, те осигуряват следното изключително представяне.

1. Свръхвисока чистота, ниско замърсяване с метални примеси.

2. Плътна структура на материала, намаляваща замърсяването на вафлите, причинено от отделяне на частици.

3. Отлична устойчивост на корозия срещу плазма, силни киселини и основи.

4. Висока твърдост и механична якост, устойчивост на износване и надраскване.

5. Изключителна термична стабилност, без деформация или пълзене при 1250°C.

6. Отлична устойчивост на термичен шок, намаляваща термичния стрес от бързи температурни промени.

Обмислен персонализиран дизайн

Керамичните пластини Semicorex SiC се съчетават добре с много водещи OEM производители на пещи в индустрията, като TEL, ASM и Kokusai Electric. Semicorex предлага специално проектирани решения за нашите уважаеми клиенти, поддържащи персонализиране на размерите на вафлената лодка, стъпката на слота, дълбочината на слота, профила на слота (V-образна или U-форма) и съответните ъгли, за да се даде възможност за перфектна съвместимост с вашето оборудване и изисквания за обработка.

Прецизна точност на обработка

Подкрепени с усъвършенствано машинно оборудване и зрели технологии за обработка, Semicorex са в състояние да контролират стриктно размерите и допустимите отклонения на своите SiC керамични пластини. Този високопрецизен контрол на размерите гарантира, че полупроводниковите пластини са стабилно позиционирани по време на работа, което ефективно предотвратява повреда на пластините в резултат на приплъзване или накланяне. След прецизна обработка, равномерно разположените слотове на SiC керамични пластини могат да гарантират, че всяка пластина се нагрява и реагира равномерно по време на процеси на окисление, дифузия и CVD, което значително допринася за подобряване на последователността на процеса и добива на полупроводникови чипове.