SIC керамични лодки

Семикорекс SIC керамичните лодки са най-модерните носители, специално проектирани за безопасно транспортиране, съхраняване и обработка на полупроводникови вафли в най-взискателните химически и термично екстремни среди. Полупроводниковата индустрия бързо прие нови стандарти за изпълнение, които изискват SIC керамични лодки надеждно, надеждно и без замърсяване да постигнат непоносимите и критични изисквания към съвременните процеси на производство на вафли.

Силна термична стабилност и здравина

Определящият атрибут на SIC керамичните лодки е неговата много висока термична стабилност. SIC керамичните лодки могат да издържат на температура над 1600 ° C, без да губят формата или структурата си по време на агресивни процеси на термично колоездене. Поради коефициента на ултра ниска термична експанзия, SIC керамичните лодки са по-малко предразположени към изкривяване и напукване, което позволява тесни допустими отклонения и общата безопасност на вафли по време на боравене при твърди условия.

Висока чистота и химическа устойчивост

SIC керамичните лодки са изработени от ултра-висок силициев карбид. SIC керамичните лодки също са силно устойчиви на химическо разграждане, корозивна и ерозираща плазма. Инертният характер на SIC керамичните лодки означава процеси на корозивни газове, реактивни среди, кисели условия не биха образували или замърсяване от лодката, или нищо разтворимо, за да се навреди на работния процес. Незазагряващата се повърхност на SIC керамичните лодки не позволява генериране на частици или йонно извличане, така че повърхността на вафли не е застрашена от примеси, които пречат на производителността или добива.

Прецизно инженерство за безопасно и сигурно управление на вафли

SIC керамичните лодки се произвеждат в тесни допустими отклонения, което им позволява да се справят с вафли с различни диаметри, включително 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm и други. Структурният дизайн на SIC лодки осигурява отлична плоскост, паралелизъм и еднакъв размер на слота за поддържане на правилната ориентация на вафли и защита на краищата на вафлата при прехвърляне в друг процес или инструмент. Всички SIC лодки могат да бъдат проектирани с персонализирани размери, за да съответстват на набора от инструменти или да отговарят на всички спецификации за автоматизация.

Дълъг живот и по -икономичен

SIC замества традиционните материали (кварц, алуминиев оксид) със значително подобрена механична якост, здравина на счупване и устойчивост на термичен удар. Това ниво на издръжливост се превръща в по -дълъг живот преди „неуспех“, значително по -малко замествания по време на експлоатация и по -ниски общи разходи за собственост. Консистенцията в производителността от издръжливостта на SIC ще намали времето за намаляване и ще ускори пропускателната способност на производствените линии на полупроводниците.

Отворени приложения в полупроводникови процеси

SIC керамичните лодки се използват широко в полупроводникови процеси отпред като:

LPCVD и отлагане на PECVD

Термично окисляване

Йонна имплантация

Отгряване и дифузия

Почистване на вафли и химическа обработка

SIC керамичните дръжки имат съвместими приложения за обработка както в камерите за атмосфера, така и в вакуумни процеси, което го прави идеален избор за леярни и фабрики, които искат да сведат и намалят риска от замърсяване, като същевременно повишават производителността.