SIC конзолни гребла

Semicorex SIC конзолни гребла са високоефективни компоненти, които са проектирани точно за обработка на вафли и транспортиране на вафли в оборудване за термична обработка на полупроводници (LPCVD, PECVD, окисляване и дифузионни пещи). Тези конзолни гребла осигуряват платформа за вафли и необходима форма на поддръжка, която осигурява стабилен и надежден транспортиране на чупливи вафли чрез тежки високотемпературни процеси (често надвишаващи 1200 ° C). Конзолните гребла се произвеждат от силиконов карбид с висока чистота (SIC), който осигурява механична издръжливост, термична стабилност и антикорозивни свойства за средата за производство на полупроводници.

Силиконов карбид е супер-премиев керамичен материал с отлична топлопроводимост, ниско термично разширение и способността да се изпълнява надеждно в химически враждебна среда. Силиконов карбид в конзолни гребла може да помогне за намаляване на термичното изкривяване

 и движение, което поддържа вафли плоски и в номиналната им обработка. Топлинната стабилност на вафлата в контекста на конзолните гребла е важна за минимизиране на проблемите на замърсяването на частиците и механичното движение, особено при производството на усъвършенствани устройства с възли. Тези проблеми могат да доведат до загуба на добив или скъпа преработка и подмяна на вафли.

Монолитната форма на конзолните гребла SIC подобрява механичната устойчивост и топлинната равномерност, като същевременно елиминира ставите и слабите точки, които обикновено могат да съществуват в композитите. Освен това повърхностното покритие на греблата е специално контролирано и обикновено полира до почти качество на огледалото, за да се сведе до минимум генерирането на частици и е много съвместим с чиста стая.

В процесите на дифузия и окисляване, които включват кислород, пара и други реактивни газове; Конвенционалните материали могат да се разтопят или деформират с течение на времето. В присъщото свойство на химически инертни инертни имоти на SIC гарантира, че греблата няма да изпреварват, или да корозират и въвеждат замърсяване в процеса поради използването на нестабилни материали, допринасяйки за по -стабилен процес и надеждни резултати.  Структурната цялост на конзолните гребла на SIC остава стабилна, въпреки бързото колоездене на отопление и охлаждане. Следователно те предлагат дълъг експлоатационен живот със значително намалена поддръжка или престой за подмяна на части.

В допълнение, намалената маса и лекото тегло на SIC греблата позволяват по -бърз термичен отговор; По този начин позволява по-бързи термични срокове и охлаждане, допринасящи за повишена производителност и енергийна ефективност, всички основни показатели в конкурентния пейзаж на полупроводниковото производство.

SIC конзолни гребла могат да бъдат доставени в различни конфигурации и размери, проектирани и произведени за настаняване на различни дизайни на пещта и размери на вафли, вариращи от 100 mm до 300 mm и по -големи. Интеграторите на OEM и оборудването оценяват последователността и надеждността на SIC греблата във времето, за внедряването както в процесите на предния, така и в задния край.

Semicorex предлага първокласни конзолни гребла с плътно управление на чистотата на материала, микроструктурата и допустимите отклонения. Нашите възможности за усъвършенствани процеси, съчетани с познанията ни за полупроводниковата термична динамика, ни позволяват да произвеждаме гребла с тези атрибути, които отговарят или надвишават индустриалните стандарти за стабилност, чистота и издръжливост. Когато трябва да е правилен и надежден, Semicorex е мястото, където да отидете за качествени компоненти на SIC.