SiC конзолна гребло

Конзолната лопатка Semicorex SiC (силициев карбид) е ключов компонент, използван в процесите на производство на полупроводници, особено в пещи за дифузия или LPCVD (химическо отлагане на пари при ниско налягане) по време на процеси като дифузия и RTP (бърза термична обработка). Той служи за поддържане и транспортиране на пластини в технологичната тръба на тези пещи.

Semicorex SiC Cantilever Paddle се състои основно от силициев карбид, здрав и термично стабилен материал, известен със своята устойчивост на висока температура и отлични механични свойства. SiC е избран заради способността му да издържа на суровите условия, срещани в рамките на високотемпературните процеси на полупроводникови пещи. Дизайнът на SiC Contilever Paddle му позволява да се простира в технологичната тръба на пещта, докато е здраво закотвен в единия край извън тръбата. Този дизайн осигурява стабилност и опора за обработваните вафли, като същевременно минимизира смущенията в топлинната среда вътре в пещта.

SiC Contilever Paddle трябва да носи полупроводникови пластини сигурно в технологичната тръба по време на различни високотемпературни процеси като дифузия и RTP. Неговата здрава конструкция гарантира, че може да издържи на екстремни температури и химически среди, срещани по време на тези процеси, без влошаване или повреда. SiC конзолните лопатки са проектирани да бъдат съвместими с широка гама от размери и форми на полупроводникови пластини, които обикновено се използват в индустрията. Те често могат да се персонализират, за да отговарят на специфични конфигурации на пещта и изисквания на процеса.