SiC лодки

SemicorexSiCлодките са прецизно проектирани керамични държачи за вафли, проектирани специално за процеса на дифузия в производството на полупроводници и фотоволтаици. Тези компоненти с висока производителност играят критична роля за осигуряване на производството на висококачествени електронни устройства чрез сигурно задържане на силициеви пластини по време на термичната дифузия на добавките. SiC лодките са широко разпространени поради своите превъзходни свойства на материала, включително висока чистота, отлична термична стабилност и устойчивост на химическа корозия, което ги прави незаменими при високи температури и химически взискателни среди.

Приложения в дифузионни процеси

SiC лодките се използват предимно в процеса на дифузия, критична стъпка в производството на полупроводници и слънчеви клетки. Този процес включва въвеждането на добавки като фосфор или бор в силициевите пластини, за да се модифицират техните електрически свойства. Дифузията изисква прецизно термично управление и химически стабилна среда, за да се осигури равномерно разпределение на добавките и постоянно качество на пластините. Възможностите за висока температура и издръжливостта на SiC лодките ги правят идеални за това приложение, особено в напреднали технологии за слънчеви клетки като N-тип TOPCon (тунелен оксиден пасивиран контакт) и други фотоволтаични клетки от следващо поколение.

Основни характеристики на SiC лодките

Висока чистота:

SiC лодките се произвеждат с керамика от силициев карбид с чистота до 86,5%. Това гарантира минимално замърсяване на пластините по време на процеса на дифузия, поддържайки високите стандарти, изисквани за полупроводникови материали.

Термична стабилност:

Силициев карбидИзключителната топлопроводимост и устойчивост на термичен шок на лодките позволяват да издържат на бързи температурни промени и да поддържат структурна цялост при температури над 1000°C. Тази стабилност гарантира надеждна работа при множество дифузионни цикли.

Химическа устойчивост:

SiC лодките демонстрират отлична устойчивост на химическа корозия, дори когато са изложени на реактивни добавки като фосфин и борен трихлорид. Това свойство осигурява дългосрочна издръжливост и намалява риска от замърсяване.

Прецизно инженерство:

Дизайнът на SiC лодките набляга на високата прецизност за сигурно поставяне на пластини с различни диаметри. Усъвършенстваните производствени техники осигуряват еднаквост и съвместимост с автоматизирани системи за обработка, подобрявайки оперативната ефективност в производствените линии с висока производителност.

Издръжливост и дълголетие:

SiC лодките се отличават с изключителна устойчивост на износване, което значително удължава експлоатационния им живот в сравнение с други материали. Тази издръжливост се изразява в спестяване на разходи за производителите чрез намаляване на честотата на подмяната.

Опции за персонализиране:

За да отговорят на разнообразните изисквания на производителите на полупроводници и фотоволтаици, SiC лодките могат да бъдат персонализирани по отношение на размери, капацитет на пластини и спецификации на дизайна. Тази гъвкавост гарантира съвместимост със специфични дифузионни системи и процеси.

Предимства на SiC лодки в дифузионни процеси

SiC лодките предлагат различни предимства пред традиционните материали като кварц или графит:

Намален риск от замърсяване:

Високата чистота насилициев карбидминимизира освобождаването на примеси, които биха могли да компрометират качеството на вафлата по време на процеса на дифузия.

Подобрена ефективност на процеса:

Топлинната проводимост на SiC осигурява равномерно разпределение на топлината във всички пластини, подобрявайки консистенцията на дифузията на добавката и намалявайки дефектите.

Подобрена безопасност и надеждност:

Механичната якост и устойчивост на деформация при високотемпературни условия на SiC допринасят за по-безопасна работа и по-надеждни резултати в взискателни дифузионни среди.

Устойчивост:

Дългият експлоатационен живот на SiC лодките намалява отпадъците и поддържа екологично устойчиви производствени практики.

Приложения извън дифузията

Докато процесите на дифузия представляват основното приложение на SiC лодките, техните здрави свойства ги правят подходящи за други високотемпературни и химически агресивни процеси, включително:

• Окисляване и отгряване в производството на полупроводници.
• Процеси на химическо отлагане на газове (CVD) за растеж на тънък слой.
• Високотемпературни процеси в усъвършенстваното производство на фотоволтаични клетки.

SiC лодките са основни компоненти в процеса на дифузия, позволявайки прецизното и надеждно производство на полупроводникови и фотоволтаични устройства. Със своите ненадминати свойства на материала, издръжливост и възможности за персонализиране, тези държачи за пластини от силициев карбид поставят нов стандарт за производителност при приложения с високи температури и химически изисквания. SiC лодките на Semicorex са проектирани да отговорят на развиващите се нужди на индустрията, като предоставят на производителите инструментите, от които се нуждаят, за да останат начело на един все по-конкурентен пазар.