SiC лодка

Semicorex SiC Boats са щателно изработени от SiC керамика с висока чистота, материал, известен със своята несравнима термична стабилност, изключителна механична якост и непоколебима химическа инертност. Тези качества го правят идеалният избор за строгите условия на производство на полупроводници.

SiC Boats се отличават с несравнима механична здравина и издръжливост, благодарение на твърдостта на материала и изключителната устойчивост на износване. Това им позволява да издържат на взискателния характер на среди за производство на полупроводници с висока производителност, без да се поддават на постепенното износване. За разлика от други материали, SiC поддържа своята структурна цялост с течение на времето, като значително намалява необходимостта от чести смени и минимизира времето за престой в производствените операции – което в крайна сметка води до значителни икономии на разходи за производителите на полупроводници.

Химическата инертност на SiC допълнително втвърдява неговата пригодност за полупроводникови процеси, като го прави силно устойчив на химически атаки от реактивни газове и често използвани материали като хлор и флуор. Тази здрава устойчивост гарантира, че SiC лодките не замърсяват пластини по време на обработката, като по този начин поддържат чистотата и качеството на полупроводниковите устройства, които се произвеждат. За процеси, изискващи още по-високо ниво на химическа устойчивост, SiC лодките могат да бъдат покрити с допълнителен слой SiC, осигурявайки допълнителна бариера срещу химическа атака и повишавайки повърхността на лодката, за да се намали рискът от замърсяване с частици.

Високата чистота на SiC керамиката, използвана в тези лодки, е от решаващо значение, тъй като производството на полупроводници изисква материали с минимални примеси. Дори следи от замърсители могат да влошат електрическите свойства на пластините и да доведат до дефекти в крайните устройства. SiC Boats са проектирани от SiC керамика със свръхвисока чистота, за да се гарантира, че не въвеждат примеси в околната среда на процеса, дори при повишени температури и реактивни условия, типични за производството на полупроводници. Тази чистота затвърждава надеждността на SiC Boats за критични етапи на процеса.

Съвместимостта на SiC Boats с различно полупроводниково оборудване е от първостепенно значение. Гъвкавостта на SiC позволява той да бъде прецизно обработен, за да отговаря на специфичните размери и конфигурации, изисквани от различни видове полупроводникови пещи и реактори, което ги прави подходящи за широк спектър от приложения, от дребномащабни изследователски и развойни операции до широкомащабни производствени линии. Освен това изключителната топлопроводимост и свойствата на разсейване на топлината на материала допринасят за по-ефективен контрол на температурата по време на обработката, което допълнително подобрява производителността и добива на полупроводникови устройства.