Притежатели на лодки SIC

Притежателите на лодки Semicorex SIC са прецизни устройства за поддръжка, предназначени да държат лодки с вафли по време на високотемпературни процеси в производството на полупроводници. Изработени от силициев карбид с висока чистота (SIC), тези държачи проявяват отлична термична стабилност, химическа устойчивост и механична твърдост, основни характеристики, когато се използват в процеси като дифузия, окисляване и епитаксиален растеж.

В изисканата среда за производство на полупроводници, защитата на целостта на вафлите и минимизиране на замърсяването е от решаващо значение. Притежателите на лодки SIC предлагат солидна, инертна платформа, която може да понася екстремни среди на пещ, като същевременно поддържа целостта без деформация и без освобождаване на замърсители. Тяхната химическа инертност позволява използването им с газове на реактивен процес, докато тяхната топлинна предавателност насърчава равномерното нагряване на повърхността на вафлите за постоянна обработка.

Всеки държач на лодка SIC е произведен с висока толерантност към точността на размерите, което ги прави лесни за приспособяване и адаптиране към всеки тип лодка с вафли и автоматизирани конфигурации на натоварване. Тяхната твърда структура не само създава силна, стабилна и адекватна поддръжка за лодките на вафли, но също така намалява шансовите микро-вибрации или позиционните смени могат да имат върху вафрите. Освен това, силициевият карбид има отлична устойчивост на износване и може да се справи с многократно топлинно колоездене, за да осигури дълъг живот, което води до малко престой и подмяна на флаконите части.

Уникалните атрибути на силициев карбид могат да осигурят допълнителни ползи по отношение на чистотата на процеса. За разлика от металите или керамичните материали от по -нисък клас, SIC не се люлее, външната или химически се разгражда при екстремни температури или в плазма. Това прави притежателите на лодки SIC чудесен инструмент за производителите, които се опитват да ограничат замърсяването на чисти помещения за напреднали полупроводникови възли, които изискват висок добив и чистота.

Притежателите на лодки Semicorex SIC се произвеждат с помощта на уникални процеси на формоване и синтероване, които гарантират еднаква микроструктура и механични характеристики между партиди и в множество държачи за лодки. Например, формата на държача или конфигурацията на слота може да бъде персонализирана, както и вида на монтажа.

Независимо дали се използва във вертикални пещи или хоризонтални реактори, персонализирането на притежателите на лодки Semicorex SIC ще отговаря на толерансите за производство на полупроводници от следващото поколение. Ако изберете продукти на Semicorex, ще знаете, че сте работили с доставчик, който е познат, посветен на материалните постижения и се стреми да иноватирайки керамични компоненти по отношение на надеждността и доставката.