SiC лодка за работа с вафли

Изработена от силициев карбид с изключителна чистота, Semicorex SiC Boat for Wafer Handling може да се похвали с конструкция, която включва прецизни слотове за закрепване на пластините, смекчавайки всяко движение по време на оперативни процедури. Изборът на силициев карбид като материал гарантира не само твърдост и еластичност, но и способността да издържат на високи температури и излагане на химикали. Това прави SiC Boat за работа с вафли основен компонент в множество етапи на производство на полупроводници, като култивиране на кристали, дифузия, йонна имплантация и процеси на ецване.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Отличаваща се със своето несравнимо съотношение на здравина към тегло и превъзходни топлопроводими свойства, Semicorex SiC Boat for Wafer Handling претърпява допълнителен процес на подобрение чрез CVD SiC покритие. Този допълнителен покривен слой усилва устойчивостта му на суровите условия на обработка и го предпазва както от химическо разграждане, така и от термични колебания, като значително удължава експлоатационния му живот и осигурява постоянна производителност при строги оперативни изисквания.

При термични операции като отгряване или дифузия, SiC Boat for Wafer Handling е инструмент за постигане на равномерно разпределение на температурата върху повърхността на вафлата. Неговата отлична топлопроводимост улеснява ефективното разпръскване на топлината, намалявайки топлинните различия и насърчавайки еднаквостта на резултатите от процеса.

Semicorex SiC Boat for Wafer Handling е уважаван за своята надеждност и изключителна производителност, изпълнявайки строгите изисквания на съвременното производство на полупроводници. Със своята адаптивност както за партидни, така и за отделни процеси на вафли, SiC Boat за работа с вафли стои като основен инструмент за съоръжения за производство на полупроводници, посветени на постигането на превъзходни продуктови стандарти и максимални добиви. Ролята на SiC Boat за обработка на вафли е от решаващо значение за поддържането и на двете целостта и надеждността на пластините, намиращи широко приложение в оборудване за производство на полупроводници, промишлени устройства и като резервни части.