Краен ефектор на робота

Semicorex е водещ независим производител на графит с покритие от силициев карбид, прецизно обработен графит с висока чистота, фокусиращ се върху графит с покритие от силициев карбид, керамика от силициев карбид, MOCVP в областта на производството на полупроводници. Нашият роботен краен ефектор има добро ценово предимство и покрива много от европейските и американските пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Robot End Effector е ръката на робота, която премества полупроводникови пластини между позициите в оборудването за обработка на пластини и носителите. Крайният ефектор на робота трябва да бъде с прецизни размери и термично стабилен, като същевременно има гладка повърхност, устойчива на абразия, за да борави безопасно с пластини, без да поврежда устройствата или да създава замърсяване с частици. Нашият роботен краен ефектор с покритие от силициев карбид (SiC) с висока чистота осигурява превъзходна устойчивост на топлина, равномерна топлинна еднородност за постоянна дебелина и устойчивост на епи слоя и трайна химическа устойчивост.

Параметри на краен ефектор на робота

Основни спецификации на CVD-SIC покритие
SiC-CVD свойства
Кристална структура	FCC β фаза
Плътност	g/cm³	3.21
твърдост	Твърдост по Викерс	2500
Размер на зърното	μm	2~10
Химическа чистота	%	99.99995
Топлинен капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимация	℃	2700
Felexural Сила	MPa (RT 4 точки)	415
Модулът на Йънг	Gpa (4pt завой, 1300 ℃)	430
Термично разширение (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлопроводимост	(W/mK)	300