Вакуумни патронници от порест SiC

Semicorex порест SiCвакуумни патроннициса незаменимите компоненти, които могат да се използват широко в усъвършенстваните процеси за производство на полупроводници, като изтъняване на пластини, нарязване, шлайфане, полиране, фотолитография, ецване. Тяхната адсорбционна платформа е изградена от пореста SiC керамична плоча с многобройни равномерно разпределени микронни пори. С постоянен диаметър на порите и изключителна скорост на преминаване през отворите, вакуумните патронници Semicorex от порест SiC осигуряват плавен газов път за вакуумна евакуация. По време на работа се генерира стабилно и равномерно отрицателно налягане между патронника и пластината, което позволява високоефективно вакуумно затягане и освобождаване на полупроводникови пластини.

Предимства на вакуумните патронници Semicorex от порест SiC 

1. Изключителна прецизност на обработка

Полупроводниковите пластини, обработени в усъвършенствано производство на полупроводници, са изключително тънки, така че дори леко огъване, вибрации или неравномерно локално напрежение може да доведе до счупване на пластини, изкривяване и намалена точност при критични процеси като литография. Semicorexпорест SiCвакуумните патронници се обработват чрез високо прецизно шлайфане и полиране, като се постига перфектна грапавост на повърхността от Ra < 0,1 μm. Това позволява на вакуумните патронници Semicorex от порест SiC да осигурят оптимизирана работна повърхност за високопрецизно производство на полупроводници.

2. Висока чистота и висока устойчивост на корозия

За да отговори напълно на строгите стандарти за чистота на полупроводниците, Semicorex произвежда вакуумни патронници от порест SiC със суровини от силициев карбид с висока чистота чрез синтероване при висока температура. Това гарантира, че патронниците са свободни от отделяне на частици и мигриращо метално замърсяване. Възползвайки се от отличната химическа стабилност на SiC, вакуумните патронници Semicorex от порест SiC са в състояние да издържат на тежките корозионни среди и да не генерират допълнителни странични продукти, което ги прави изключително подходящи за висококачествени чисти процеси на производство на полупроводници.

3. Отлична издръжливост и дългосрочна стабилност

Вакуумните патронници, използвани в производствените линии, трябва да издържат на хиляди цикли на адсорбция и освобождаване, както и на дългосрочни температурни колебания. Това налага изключително високи изисквания към характеристиките на материала на вакуумните патронници. Вакуумните патронници Semicorex от порест SiC се отличават с изключителна твърдост на материала и устойчивост на износване, със стабилно термично разширение. Те не показват пълзене или влошаване на производителността при условия на висока температура, което значително удължава техния експлоатационен живот и намалява честотата на поддръжка и подмяна на компонентите.