Порести sic chuck

Порестът на Semicorex Sic Chuck е керамична част, която е сглобена с точност за безопасно, ефективно боравене с вафли субстрати за полупроводникови приложения чрез стъпки на процеса като проверка, тестване и литография. Чъкът е произведен от микропорета от силициев карбид керамика (SIC). SIC има механична якост, химическа устойчивост и свойства на термична стабилност, необходими за авангардна среда за производство на полупроводници.

Основна характеристика на порестия Sic Chuck е неговата уникална микроструктура, която показва порьозност от 35%-40%. С порьозността на патронника плътно контролиран, надлежният дизайн позволява да се изтръгва равномерно вакуумно изсмукване през патронника, генерирайки постоянна стабилна и безконтактна опора за типично деликатни субстрати на вафли: силиций или GAN и други сложни полупроводници.  Режимът на засмукване на вакуум избягва както замърсяване на частиците, така и механично увреждане, като по този начин запазва целостта на вафлите по време на процеса.

Керамичното тяло на патронника е предимно с висока чистота, с друга керамика, като алуминий (AL2O3), потенциално използвана за ограничен брой функционални слоеве в зависимост от приложението. Изследванията и разработването на материала позволяват да се управлява размерът и разпределението на порите за проектиране на въздушен поток и сила на задържане в зависимост от размерите на вафли и условията на процеса. Ако е важно да се контролира вакуума върху по -тънки вафли, ще бъде включен по -малък размер на порите. За по -бързи дебити, когато е подходящо, ще се използва по -големият размер на порите.

Порести SIC Chucks проявяват промяна в цветовете в резултат на размерите на променливите пори, керамичните композиции и условията на изстрелване. Sic Chucks са склонни да са черни или тъмно сиви, тъй като цветът на силициев карбид е или сив, или черен, но патронниците с голямо съдържание на алуминиев оксид са склонни да са в бял цвят. Вариациите в цвета нямат ефект върху работата на продукта и представляват само проектираните свойства, които са създадени за конкретни приложения, за да се съобразят с конкретни нужди на клиента.

В инструментите за обработка на вафли от висок клас, топлинната стабилност и химическата инертност са двете най-важни характеристики. Силиконов карбид осигурява отлична устойчивост на корозионни газове и термичен цикъл. Порестият Sic Chuck успешно работи във вакуумни камери и инструменти за плазмени офорт и продължава да се представя добре с бързо променящи се температури. Способността им да поддържат оживената стабилност на патронника гарантира, че вафлата остава на същото място, въпреки че изискванията за точност могат да бъдат под подмикрона в зависимост от процеса, допринасящ за стабилизирания размер на размерите, гарантира точност.

Порестият SIC Cucks Semicorex се извършва с помощта на разрешени процедури за формиране и синтероване, които осигуряват еднаква порьозност, висока якост на гъвкавост и ниско термично разширение. Всеки патронник се проверява за структура на порите, плоскост и вакуум, за да се осигури надежден и повтарящ се продукт. Предлагат се и персонализирани дизайни за приспособяване на специфични размери на вафли и изисквания за интеграция на системата, като например канали за поток на газ отзад или функции за монтаж.

В заключение, порестият Sic Chuck е система за поддръжка на субстрата с висока надеждност, която е внимателно проектирана да работи съвместно с изискванията за прецизна обработка на вафли. С висока способност за задържане на вакуум, персонализирана структура на порите и изключителна стабилност на материала, той е незаменим продукт в днешните линии за производство на полупроводници.