Входни пръстени MOCVD

Semicorex е мащабен производител и доставчик на графит с покритие от силициев карбид в Китай. Нашите входни пръстени MOCVD имат добро ценово предимство и покриват много от европейските и американските пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Semicorex доставя входни пръстени MOCVD, използвани при отлагането и обработката на пластини, които са наистина стабилни за RTA, RTP или грубо химическо почистване. Нашите входни пръстени MOCVD имат графитна конструкция с покритие от силициев карбид (SiC) с висока чистота, която осигурява превъзходна устойчивост на топлина, равномерна топлинна еднородност за постоянна дебелина и устойчивост на епи слоя и трайна химическа устойчивост. Финото кристално покритие от SiC осигурява чиста, гладка повърхност, критична за работа, тъй като чистите пластини контактуват с възприемателя в много точки по цялата си площ.

В Semicorex ние се фокусираме върху предоставянето на висококачествени, рентабилни входни пръстени MOCVD, ние даваме приоритет на удовлетвореността на клиентите и предоставяме рентабилни решения. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор, доставяйки висококачествени продукти и изключително обслужване на клиентите.

Параметри на входните пръстени MOCVD

Основни спецификации на CVD-SIC покритие
SiC-CVD свойства
Кристална структура	FCC Î² фаза
Плътност	g/cm³	3.21
твърдост	Твърдост по Викерс	2500
Размер на зърното	Î¼m	2~10
Химическа чистота	%	99.99995
Топлинен капацитет	J·kg-1 ·K-1	640
Температура на сублимация	℃	2700
Felexural Сила	MPa (RT 4 точки)	415
Модулът на Йънг	Gpa (4pt огъване, 1300 â)	430
Термично разширение (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлопроводимост	(W/mK)	300