Хоризонтални лодки от силициев карбид

Semicorex хоризонталенлодки от силициев карбидса интегрално формирани чрез технология за 3D печат и след това произведени чрез високотемпературно синтероване. Създадени специално, за да отговарят на различни размери на високотемпературни хоризонтални пещи, тези компоненти се прилагат широко за стабилно осигуряване на задържане на пластини в критични високотемпературни производствени процеси на полупроводници, включително дифузия, окисление и химическо отлагане на пари.

Физикохимични свойства на силициевия карбид

Предимствата на хоризонталната лодка от силициев карбид Semicorexs

1. Стабилна подкрепа и позиция

Несравнимата здравина и твърдост на материала дава на Semicorex хоризонтални силициево-карбидни лодки отлична носеща способност, което им позволява стабилно да носят множество пластини едновременно. Чрез прецизна обработка на шлицове, хоризонталните лодки от силициев карбид Semicorex могат здраво да фиксират и задържат сигурно полупроводникови пластини. Равномерно разпределената структура на слотовете гарантира, че пластините поддържат фиксирана позиция през целия цикъл на обработка, като по този начин гарантират последователността и прецизността на процесите на производство на полупроводници.

2. Съвместимост с комплексни условия на работа

Благодарение на тяхната превъзходна устойчивост на висока температура и устойчивост на корозия, хоризонталните лодки от силициев карбид Semicorex са в състояние да издържат на строги работни среди, като например високотемпературни атмосфери на кислород, азот или нискоконцентриран хлороводород. Тези изключителни свойства на материала могат ефективно да предотвратят корозия и щети, причинени от корозивни газове с висока температура, което значително удължава експлоатационния живот на лодките.

3. Изключителна чистота

За разлика от конвенционалните графитни лодки с покритие от силициев карбид, хоризонталните лодки от силициев карбид Semicorex са произведени от полупроводников клас с висока чистотасилициев карбид(99,999%) с изключително ниско съдържание на примеси. Този първокласен избор на материал елиминира риска от отделяне на замърсители или отлепване на покритието, дори когато е изложен на висока температура и агресивна корозивна среда. Освен това, всяка от нашите лодки от силициев карбид е подложена на строги процеси на ултразвуково почистване преди вакуумно опаковане, което гарантира съответствие със стандартите за чистота, изисквани от модерните процеси за производство на полупроводници.