Газов входен пръстен за полупроводниково оборудване

Semicorex е мащабен производител и доставчик на графитен ток с покритие от силициев карбид в Китай. Ние се фокусираме върху полупроводниковите индустрии като слоеве от силициев карбид и епитаксиален полупроводник. Нашият входящ пръстен за газ за полупроводниково оборудване има добро ценово предимство и покрива много от европейските и американските пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Газовият входен пръстен Semicorex за полупроводниково оборудване е с SiC покритие, което е плътно, устойчиво на износване покритие от силициев карбид (SiC). Има висока устойчивост на корозия и топлина, както и отлична топлопроводимост. Ние нанасяме SiC на тънки слоеве върху графита, използвайки процеса на химическо отлагане на пари (CVD).

Нашият входящ пръстен за газ за полупроводниково оборудване е проектиран да постигне най-добрия модел на ламинарен газов поток, осигуряващ равномерност на топлинния профил. Това помага да се предотврати всякакво замърсяване или дифузия на примеси, осигурявайки висококачествен епитаксиален растеж върху чипа на вафлата.

Свържете се с нас днес, за да научите повече за нашия входящ пръстен за газ за полупроводниково оборудване.

Параметри на входящия газ пръстен за полупроводниково оборудване

Основни спецификации на CVD-SIC покритие
SiC-CVD свойства
Кристална структура	FCC β фаза
Плътност	g/cm³	3.21
Твърдост	Твърдост по Викерс	2500
Размер на зърното	μm	2~10
Химическа чистота	%	99.99995
Топлинен капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимация	℃	2700
Felexural Сила	MPa (RT 4 точки)	415
Модулът на Йънг	Gpa (огъване 4 точки, 1300 ℃)	430
Термично разширение (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлопроводимост	(W/mK)	300

Характеристики на газов входен пръстен за полупроводниково оборудване

● Графит с висококачествен SiC покритие

● Превъзходна устойчивост на топлина и топлинна равномерност

● Фино SiC кристално покритие за гладка повърхност

● Висока устойчивост срещу химическо почистване

● Материалът е проектиран така, че да не се получават пукнатини и разслояване.

Горещи маркери: Газов входен пръстен за полупроводниково оборудване, Китай, производители, доставчици, фабрика, персонализиран, насипен, усъвършенстван, издръжлив

Продуктов етикет

Свързана категория