Персонализирано SiC конзолно гребло

Semicorex Custom SiC Cantilever Paddle служи като критична връзка между системата за зареждане на вафли и сърцето на дифузионната пещ, отговорна за транспортирането на кварцови или SiC вафлени лодки, натоварени със силициеви вафли, в зоната за високотемпературна обработка. Техният дизайн и свойства на материала са щателно оптимизирани за тази взискателна задача:

Здрава конзолна структура за стабилен транспорт на вафли:Конзолният дизайн, характеризиращ се с твърдо рамо, простиращо се в пещта, осигурява изключителна стабилност и прецизен контрол върху движението на пластините. Това гарантира плавен транспорт без вибрации, минимизирайки риска от счупване на пластини или неправилно подравняване по време на товарене и разтоварване.

Висок капацитет на натоварване за ефективна партидна обработка:Присъщата здравина и твърдост на SiC керамиката позволява на Custom SiC Contilever Paddle да поеме големи натоварвания от силициеви пластини, като максимизира производителността на всеки дифузионен цикъл и допринася за по-високи производствени обеми.

Прецизен контрол на размерите за безпроблемна интеграция: Custom SiC Cantilever Paddle е щателно произведен за прецизни спецификации на размерите, осигурявайки идеално прилягане в системата на дифузионната пещ и улеснявайки безпроблемното интегриране с автоматизирани роботи за обработка на вафли.

По-специално изборът на SiC керамикаReaction Bonded Silicon Carbide (RBSiC) иСпечен силициев карбид (SSiC), тъй като избраният материал за Custom SiC Contilever Paddle произтича от техните изключителни характеристики на работа в среда с висока температура:

Непоколебима стабилност при високи температури: Custom SiC Contilever Paddle показва изключителна устойчивост на деформация и пълзене дори при повишени температури (до 1600°C), срещани в дифузионните пещи. Това гарантира постоянна опора на вафлата и предотвратява увисване или огъване, което може да компрометира еднаквостта на вафлата.

Изключителна устойчивост на термичен удар:Способността да издържат на бързи температурни преходи без повреда е от решаващо значение за поддържане на целостта на Custom SiC Cantilever Paddle при безброй цикли на дифузия. SiC керамиката е превъзходна в това отношение, минимизирайки риска от напукване или счупване, което може да доведе до скъпи престои.

Ниско термично разширение за прецизно подравняване:Минималното термично разширение на SiC керамиката гарантира, че Custom SiC Cantilever Paddle запазва стабилността на размерите си в широките температурни диапазони, наблюдавани по време на работа. Това е от решаващо значение за поддържане на прецизно подравняване на пластините в пещта, осигурявайки равномерно нагряване и последователни профили на дифузия.