Керамичен носач за вафли

Semicorex осигурява полупроводникова керамика за вашите OEM инструменти за полуфабрикати и компоненти за обработка на пластини, фокусирани върху слоевете от силициев карбид в полупроводниковата индустрия. Ние сме производител и доставчик на керамични носители за вафли от много години. Нашите продукти имат добро ценово предимство и покриват повечето европейски и американски пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Керамичният носач на пластини от силициев карбид има добра устойчивост на корозия и отлична устойчивост на високи температури и термичен шок. Високият модул на еластичност освен това води до отлична стабилност на размерите. В допълнение има нулева порьозност и ниска плътност на порите на керамичния материал.
Можем да обработваме всички видове керамични носители за вафли според изискванията на клиентите.

Параметри на керамичния носител за вафли

Технически свойства
Индекс	единица	Стойност
Име на материала		Реакционно синтерован силициев карбид	Спечен силициев карбид без налягане	Прекристализиран силициев карбид
Състав		RBSiC	SSiC	R-SiC
Обемна плътност	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Якост на огъване	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Якост на натиск	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970 (560)	> 600
Твърдост	Бутон	2700	2800	/
Прекъсваща упоритост	MPa m1/2	4.5	4	/
Топлопроводимост	Вт/м.к	95	120	23
Коефициент на топлинно разширение	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Специфична топлина	Джаул/g 0k	0.8	0.67	/
Максимална температура на въздуха	℃	1200	1500	1600
Модул на еластичност	Gpa	360	410	240

Semicorex произвежда Ceramic Wafer Carrier в три форми, реакционно синтерован силициев карбид (RBSiC), синтерован силициев карбид без налягане (SSiC) и рекристален силициев карбид (R-SiC).

Разликата между SSiC и RBSiC:

1. Процесът на синтероване е различен. RBSiC е да инфилтрира свободен Si в силициев карбид при ниска температура, SSiC се образува чрез естествено свиване при 2100 градуса.

2. SSiC имат по-гладка повърхност, по-висока плътност и по-висока якост, за някои уплътнения с по-строги изисквания към повърхността, SSiC ще бъде по-добър.

3. Различно използвано време при различни PH и температура, SSiC е по-дълъг от RBSiC

Характеристики на керамичния носител за вафли

Графит с високочисто SiC покритие
Превъзходна устойчивост на топлина и топлинна еднородност
Фин SiC кристал с покритие за гладка повърхност
Висока издръжливост срещу химическо почистване
Материалът е проектиран така, че да не се получават пукнатини и разслояване.

Налични форми на керамика от силициев карбид:

● Керамичен прът / керамичен щифт / керамично бутало

● Керамична тръба / керамична втулка / керамична втулка

● Керамичен пръстен / керамична шайба / керамичен дистанционер

● Керамичен диск

● Керамична чиния / керамичен блок

● Керамична топка

● Керамично бутало

● Керамична дюза

● Керамичен тигел

● Други керамични части по поръчка