6 инча SiC лодка

Semicorex 6 Inch SiC Boat е усъвършенстван носител за пластини, предназначен да оптимизира производителността и ефективността на високотемпературната обработка на полупроводници, специално за приложения като окисление, дифузия и други термични процеси. Изработен от висококачествен силициев карбид (SiC), този продукт предлага здраво решение за задържане на полупроводникови пластини по време на критични високотемпературни операции, осигурявайки превъзходна термична стабилност, отлична устойчивост на корозия и минимални рискове от замърсяване.

6-инчовата SiC лодка е произведена от силициев карбид с висока чистота (SiC), материал, известен със своите изключителни термични свойства, химическа устойчивост и издръжливост в тежки среди. SiC се използва широко в производството на полупроводници поради високата си точка на топене (приблизително 2700°C), което го прави идеален за високотемпературни приложения като обработка на пластини в окислителни и дифузионни пещи. Дизайнът на лодката осигурява отлична структурна цялост и равномерно разпределение на топлината, които са от решаващо значение за постигане на постоянни резултати при растеж на полупроводникови кристали, окисляване и други термични обработки.

Основни характеристики и предимства

Висока термична стабилност

Изключителната топлопроводимост на SiC гарантира, че 6-инчовата SiC лодка може да издържи на екстремни температури без изкривяване или влошаване. Това свойство е особено ценно по време на процеси на окисляване и дифузия, където прецизният контрол на температурата е от съществено значение за последователната обработка на вафли.

Отлична химическа устойчивост

Присъщата на силициевия карбид устойчивост на химическа корозия прави лодката идеална за използване в среди, където излагането на агресивни газове, като кислород, азот или други реактивни елементи, е обичайно. Лодката запазва своята структурна цялост и ефективност при висока температура, химически реактивна среда, намалявайки вероятността от замърсяване.

Издръжливост при висока температура

6-инчовата SiC лодка е проектирана да работи при температури до 1500°C, изискване за много високотемпературни полупроводникови процеси, включително окисление и дифузия. Тази толерантност към висока температура осигурява дълъг експлоатационен живот дори при взискателни приложения.

Нисък риск от замърсяване

Един от критичните фактори при обработката на полупроводници е минимизирането на замърсяването на повърхността на пластината. Ниските нива на примеси на SiC и нереактивната природа гарантират, че 6-инчовата SiC лодка допринася за чиста и контролирана среда, като по този начин намалява риска от нежелано замърсяване по време на обработката.

Единна поддръжка на вафли

Дизайнът на лодката гарантира, че вафлите се поддържат равномерно, като поддържа оптимално подравняване на вафлите и предотвратява всякакво провисване или неправилно подравняване по време на обработка при висока температура. Тази еднаква опора е от съществено значение за осигуряване на постоянни резултати и предотвратяване на дефекти на пластини.

Опции за персонализиране

6-инчовата SiC лодка може да бъде персонализирана, за да отговаря на специфични изисквания на клиента, включително персонализирани размери, форми и конфигурации за различни типове вафли. Независимо дали се използва за окисление, дифузия или други термични процеси, лодката може да бъде оптимизирана за конкретния процес на клиента.

Приложения в производството на полупроводници

6-инчовата SiC лодка се използва предимно при високотемпературни термични процеси в производството на полупроводници. Той е особено ефективен в оксидационни и дифузионни пещи, където е необходим прецизен контрол на температурата и атмосферата за успешна обработка на вафли.

• Процес на окисление: По време на процеса на окисляване силициевите пластини се излагат на кислород при повишени температури, за да образуват тънък слой силициев диоксид върху повърхността на пластината. 6-инчовата SiC лодка гарантира, че вафлите се държат сигурно и равномерно по време на този високотемпературен процес, предотвратявайки деформация или неправилно подравняване и осигурявайки равномерен растеж на оксиден слой.
• Процес на дифузия: В процеса на дифузия добавките се въвеждат в силиконовата пластина, за да модифицират нейните електрически свойства. SiC Boat осигурява стабилна и надеждна опора за пластините по време на тази критична стъпка, където високите температури и прецизният контрол на дифузионната среда са от първостепенно значение. Неговата отлична термична стабилност осигурява равномерно нагряване, което е от решаващо значение за постигане на желания профил на добавката.
• Други високотемпературни приложения: Освен окисляването и дифузията, 6-инчовата SiC лодка може да се използва в други високотемпературни процеси, като отгряване, нитриране и епитаксиален растеж. Неговата висока топлопроводимост и устойчивост на термичен шок го правят универсално решение за различни етапи от производството на полупроводникови устройства.

Предимства пред други материали

В сравнение с традиционните материали като кварц или графит, силициевият карбид предлага значителни предимства при производството на полупроводници. Кварцовите лодки са по-податливи на термичен шок и химични реакции, докато графитните лодки могат да отделят газове и да въведат замърсяване. SiC лодките, от друга страна, поддържат работата си в тежки среди без рискове от замърсяване, термична нестабилност или влошаване. Това прави 6-инчовата SiC лодка по-надежден и ефективен избор за високотемпературна обработка на полупроводници.

Semicorex 6 Inch SiC Boat е критичен компонент в полупроводниковата индустрия, осигуряващ необходимата стабилност, химическа устойчивост и термични характеристики, необходими за усъвършенствана обработка на пластини. Неговата висока топлопроводимост, устойчивост на химическа корозия и минимален риск от замърсяване го правят идеалният избор за окисление, дифузия и други високотемпературни полупроводникови процеси. Независимо дали се използва в научноизследователска и развойна дейност или в широкомащабно производство, 6-инчовата SiC лодка осигурява производителността и надеждността, необходими за осигуряване на резултати с най-високо качество в производството на полупроводници.