Касетни лодки от силициев карбид

Semicorexкасетни лодки от силициев карбидса незаменимите носещи компоненти, със своята стабилна и високоякостна структура, безопасно и прецизно, сигурно държат, пренасят и боравят с множество полупроводникови пластини. Те се използват широко в различни високотемпературни полупроводникови процеси, за да осигурят оптимизирано разпределение на топлината и газовия поток за постоянни резултати от обработката.

Внимателно подбрана суровина

Прецизно произведени от прах от силициев карбид от полупроводников клас чрез високотемпературно синтероване, касетните лодки от силициев карбид Semicorex притежават следните отлични свойства.

1. ултра-висока чистота:Съдържанието на примеси в субстрата се контролира да бъде под 100 PPM, а нивото на примеси наCVD силициев карбидпокритието може да достигне по-малко от 1 PPM.

2. Надеждна устойчивост на корозия:Керамиката от силициев карбид осигурява силна устойчивост на корозия и е устойчива на корозия от повечето киселини (като солна киселина, сярна киселина и флуороводородна киселина), основи (като сода каустик), разтворители и окислителни среди.

3. Изключителен капацитет за управление на топлината:С изключителна термична устойчивост и нисък коефициент на термично разширение, касетъчните лодки от силициев карбид могат да запазят своите химически свойства и механична якост дори когато са изложени на продължителни работни условия при висока температура около 1250 °C.

Прецизно проектирана структура

1. Хоризонтална структура на рамката:Хоризонталната рамкова структура на касетъчните лодки от силициев карбид Semicorex ги прави идеално пасващи към хоризонталните високотемпературни тръби на пещта.

2. Равномерно разположени прорези:Отличаващи се с многобройни равномерно разположени прорези, касетъчните лодки от силициев карбид Semicorex могат здраво да държат пластината на място, което може значително да предотврати нежеланите драскотини, ожулвания и повреди в резултат на изместване на пластината, като по този начин ефективно гарантира стабилност на полупроводниковия процес и добив на пластина.

3. Многослотов дизайн:Множеството слотове, проектирани да носят множество пластини, позволяват на касетъчните лодки от силициев карбид Semicorex да подобрят пропускателната способност на обработката на една партида и цялостната производствена ефективност.

4. Отворена архитектура:Касетъчните лодки от силициев карбид Semicorex са оборудвани с обмислена отворена архитектура, която може да помогне за постигане на равномерно разпределение на газа и достатъчен реакционен контакт, което по този начин ефективно минимизира непоследователните резултати от процеса.