Semicorex SiC Coated Plate Carriers за MOCVD е висококачествен носител, предназначен за използване в процеса на производство на полупроводници. Неговата висока чистота, отлична устойчивост на корозия и дори топлинен профил го правят отличен избор за тези, които търсят носител, който може да издържи на изискванията на процеса на производство на полупроводници.
Нашите носители за плочи с SiC покритие за MOCVD се отличават с висока чистота, което го прави отличен избор за тези, които търсят носител, който е много еднороден и последователен в свойствата си.
Нашите носители за пластини с SiC покритие за MOCVD, направени с високочисто покритие от силициев карбид върху графит, което го прави изключително устойчив на окисление при високи температури до 1600°C. Процесът на химическо отлагане на пари CVD, използван при производството му, осигурява висока чистота и отлична устойчивост на корозия. Той е силно устойчив на корозия, с плътна повърхност и фини частици, което го прави устойчив на киселини, основи, соли и органични реагенти. Неговата устойчивост на високотемпературно окисление осигурява стабилност при високи температури до 1600°C.
Параметри на пластинчати носители с SiC покритие за MOCVD
Основни спецификации на CVD-SIC покритие |
||
SiC-CVD свойства |
||
Кристална структура |
FCC β фаза |
|
Плътност |
g/cm³ |
3.21 |
твърдост |
Твърдост по Викерс |
2500 |
Размер на зърното |
μm |
2~10 |
Химическа чистота |
% |
99.99995 |
Топлинен капацитет |
J kg-1 K-1 |
640 |
Температура на сублимация |
℃ |
2700 |
Felexural Сила |
MPa (RT 4 точки) |
415 |
Модулът на Йънг |
Gpa (4pt завой, 1300 ℃) |
430 |
Термично разширение (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлопроводимост |
(W/mK) |
300 |
Характеристики на SiC покрит графитен ток за MOCVD
- Избягвайте отлепването и осигурете покритие върху цялата повърхност
Устойчивост на високотемпературно окисляване: Стабилен при високи температури до 1600°C
Висока чистота: направено чрез CVD химическо отлагане на пари при условия на високотемпературно хлориране.
Устойчивост на корозия: висока твърдост, плътна повърхност и фини частици.
Устойчивост на корозия: киселини, основи, соли и органични реагенти.
- Постигане на най-добрия модел на ламинарен газов поток
- Гарантирана равномерност на термичния профил
- Предотвратете всякакво замърсяване или дифузия на примеси