Алуминиеви нитридни нагреватели

Алуминиевите нагреватели на семикорекс са най-съвременните керамични нагревателни елементи, предназначени за приложения, които изискват висока топлинна проводимост, електрическа изолация и изключителна издръжливост. Проектирани от алуминиева нитридна керамика, тези нагреватели осигуряват бързо и равномерно отопление, което ги прави идеални за среди с висока точност като полупроводниково обработка, медицинска диагностика и усъвършенствани аналитични инструменти.

Алуминиевите нитридни нагреватели са ключови компоненти в оборудването за отлагане на тънки филми за полупроводници. Те се прилагат директно към процесорната камера и в пряк контакт с вафлата. Те не само носят вафлата, но и гарантират, че вафлата получава a 

Стабилна и равномерна температура на процеса. Тази характеристика е от съществено значение за реакциите с висока точност на повърхността на вафлите и генерирането на равномерни тънки филми.

Обикновено алуминиевите нитридни нагреватели включват керамичен субстрат с повърхност за натоварване на вафли и цилиндрично поддържано тяло, което го поддържа на гърба. В допълнение към резистивна отоплителна верига за отопление, RF електрод и електрод на електростатичен патрон и други проводници също са осигурени вътре или на повърхността на керамичния субстрат.

Оборудването за отлагане на тънък филм обикновено използва керамични материали въз основа наалуминиев нитрид (aln)Защото тя включва среда с висока температура. Причината, поради която алуминиевите нитридни нагреватели са предпочитани при производството на полупроводници, се дължи главно на техните уникални физически и химични свойства. Алуминиевият нитрид има не само висока топлопроводимост и може да постигне бързо отопление и охлаждане за кратко време, но също така има добра електрическа изолация и механична якост, като гарантира стабилността и надеждността на нагревателя. В допълнение, коефициентът на термично разширение на алуминиевия нитрид е подобен на този на силиций, което помага да се намали въздействието на топлинния стрес върху вафлата и да се подобри добива на процеса.

Най -общо казано,керамични нагревателисе използват главно в оборудване за отлагане на тънък филм. Тъй като включва високотемпературни процеси, използваният керамичен материал е главно алуминиев нитрид; Електростатичните патрони се използват главно в ецването на оборудването, а използваният керамичен материал е главно алуминиев оксид. С развитието на полупроводниковата технология има припокриване между керамичните нагреватели и електростатичните патрони. Например, керамичните нагреватели, използвани в оборудването за отлагане на тънък филм, са оборудвани с електростатични патрони, които имат двойните функции на високотемпературно отопление и електростатична адсорбция. Електростатичните патрони, използвани в ецването на оборудването, също започват да включват процеси с висока температура, а керамичният материал трябва да бъде променен от алуминиев оксид до алуминиев нитрид.