Керамичен патронник от алуминиев нитрид

Керамичният патронник от алуминиев нитрид представлява авангардно решение за обработка на полупроводникови пластини, специално проектирано да държи сигурно пластините на място по време на различни етапи от производството. Функционирайки като електростатичен патронник (ESC), това иновативно устройство използва изключителните свойства на керамиката от алуминиев нитрид, за да осигури прецизно и надеждно задържане на пластини.

Керамичният патронник Semicorex от алуминиев нитрид използва електростатични сили, за да захване здраво пластината върху нейната повърхност. Това се постига чрез щателно проектирана плоча, включваща интегрирани електроди, които са стратегически предубедени с високо напрежение. В резултат на това се установява електростатична задържаща сила между плочата и пластината, която ефективно обездвижва пластината на място по време на етапите на обработка.

Една от забележителните характеристики на керамичния патронник от алуминиев нитрид е неговата забележителна комбинация от висока топлопроводимост и изолационни свойства. Тази уникална комбинация от характеристики го прави идеален избор на материал за ESC приложения. Високата топлопроводимост осигурява ефективно разсейване на топлината, което е от решаващо значение за поддържане на равномерно разпределение на температурата в пластината по време на обработката. Едновременно с това неговите изключителни изолационни свойства осигуряват електрическа изолация между патронника и пластината, минимизирайки риска от електрически смущения или повреда на чувствителни полупроводникови компоненти.

Керамичният патронник от алуминиев нитрид предлага няколко предимства пред традиционните материали за патронника. Неговата здрава конструкция гарантира дългосрочна издръжливост, способна да издържи на строгите изисквания на средите за производство на полупроводници. В допълнение, съвместимостта му с високотемпературни процеси и устойчивостта на термично разширение го правят незаменим инструмент за постигане на постоянни и висококачествени резултати при обработката на вафли.