Електростатичен патронник ESC

Semicorex Electrostatic Chuck ESC работи на принципа на електростатичната адхезия, използвайки постоянен ток с високо напрежение (DC), приложен към неговия диелектричен керамичен слой. Тази технология позволява сигурно закрепване на вафли или други материали по време на обработка, като гарантира както стабилност, така и прецизност през различните етапи на производство.

Когато към патронника се приложи високо постоянно напрежение, заредените йони в керамичния диелектричен слой мигрират и се натрупват на повърхността му. Това създава силно електростатично поле между патронника и продукта, който ще се обработва. Генерираното електростатично привличане е достатъчно здраво, за да задържи пластината на място, като гарантира, че тя остава неподвижна дори по време на сложни и високопрецизни операции. Това сигурно задържане е от решаващо значение, тъй като помага за намаляване на микродвиженията и вибрациите, които биха могли да компрометират качеството и целостта на обработените вафли. Възможността за закрепване на пластини с минимален механичен контакт предотвратява и физическо увреждане, което е ясно предимство пред традиционните методи на затягане.

Електростатичният патронник тип J-R ESC е оборудван с вградени електроди, които са от съществено значение за създаването на тази електростатична адхезия. Тези електроди са разположени в патронника, за да разпределят равномерно електростатичната сила по повърхността на пластината или други материали, които се обработват. Това равномерно разпределение осигурява постоянно налягане, което е необходимо за поддържане на еднаквост по време на сложни процеси като ецване, йонно имплантиране и отлагане. Прецизната адхезия, предлагана от Electrostatic Chuck ESC, му позволява да се приспособи към взискателните спецификации на модерното производство на полупроводници.

В допълнение към основната си функция за залепване, Electrostatic Chuck ESC разполага със сложна система за контрол на температурата. Патронникът включва интегрирани нагревателни елементи, които са предназначени да регулират температурата на продукта, който се обработва. Контролът на температурата е решаващ фактор при производството на полупроводници, тъй като дори леки температурни промени могат да повлияят на резултата от процеса. Electrostatic Chuck ESC предлага многозонов контрол на температурата, позволявайки различни секции на пластината да се нагряват или охлаждат независимо. Това гарантира, че температурата се поддържа постоянно по цялата повърхност на пластината, насърчавайки еднакви резултати от обработката и намалявайки риска от термично увреждане или изкривяване.

Използването на материали с висока чистота в конструкцията на електростатичния патронник ESC е друга забележителна характеристика. Материалите, избрани за този патронник, са проектирани да сведат до минимум замърсяването с частици, което е критичен проблем при производството на полупроводници. Дори малки частици могат да причинят дефекти в микроструктурите, които се произвеждат, което води до намалени добиви и потенциална повреда на продукта. Чрез използването на материали с висока чистота, Electrostatic Chuck ESC намалява риска от въвеждане на замърсители в обработващата среда, като по този начин поддържа висококачествено производство.

Електростатичният патронник ESC е устойчив на плазмена ерозия. В много полупроводникови процеси, особено при ецване и отлагане, патронникът е изложен на реактивна плазмена среда. С течение на времето това излагане може да влоши материалите, използвани в патронника, което да повлияе на неговата работа и продължителност на живота. Electrostatic Chuck ESC е специално проектиран да устои на плазмена ерозия, което му позволява да запази своята структурна цялост и производителност дори в тежки работни среди. Тази издръжливост се изразява в по-дълъг експлоатационен живот, намалявайки нуждата от чести смени и свеждайки до минимум престоя на производствената линия.

Механичните свойства на електростатичния патронник ESC също са от решаващо значение. Патронникът е произведен с изключително строги допуски, което гарантира, че поддържа прецизната форма и размери, необходими за неговите специфични приложения. Използват се високопрецизни машинни техники за постигане на необходимата плоскост и гладкост на повърхността, които са от съществено значение за осигуряване на равномерна електростатична адхезия и минимизиране на риска от повреда на деликатни вафли. Механичната здравина на патронника е еднакво впечатляваща, позволявайки му да издържи на физическите натоварвания, наложени по време на процеси с висока температура и високо налягане, без да се деформира или да загуби способността си да държи пластината сигурно.