Електростатични патронници от алуминиев нитрид

Електростатичните патронници от алуминиев нитрид използват електростатични сили за сигурно задържане на пластини по време на различни процеси на производство на полупроводници. Този метод елиминира необходимостта от механични скоби или вакуумни системи, намалявайки риска от генериране на частици и механично напрежение върху деликатните вафли. Едно от ключовите предимства на електростатичните патронници от алуминиев нитрид е способността им да генерират силно равномерна и стабилна електростатична сила по цялата повърхност на пластината. Това осигурява постоянен контакт и предотвратява приплъзване или деформация на пластини по време на обработка, което води до подобрена еднородност в отложените филми, гравирани характеристики и други критични параметри. Тази равномерна сила на затягане също минимизира изкривяването на пластините, което води до подобрена производителност и добив на устройството.

Що се отнася до неговите термични свойства, високата топлопроводимост на електростатичните патронници от алуминиев нитрид позволява ефективно разсейване на топлината по време на високотемпературни процеси, предотвратявайки термичния стрес и осигурявайки равномерно разпределение на температурата в пластината. Това е критично в приложения като бърза термична обработка и плазмено ецване, където локализираното нагряване може да повлияе отрицателно на работата на устройството. Плюс това, процесът на производство на полупроводници често включва бързи температурни преходи. Високата устойчивост на термичен удар на електростатичните патронници от алуминиев нитрид им позволява да издържат на тези внезапни температурни промени без влошаване или напукване, гарантирайки дълготрайност и надеждна работа на патронника при продължителна употреба. Нещо повече, AlN притежава коефициент на термично разширение (CTE), близък до този на силициевите пластини. Тази съвместимост минимизира напрежението, предизвикано в интерфейса пластина-патронник по време на топлинен цикъл, предотвратявайки изкривяване, изкривяване и потенциални дефекти, които биха могли да повлияят на производителността и производителността на устройството.

AlN е механично здрав материал с висока якост на огъване и якост на счупване. Тази присъща здравина позволява на електростатичните патронници от алуминиев нитрид да издържат на механичните напрежения, възникнали по време на производството на голям обем, осигурявайки постоянна работа и удължен експлоатационен живот. От друга страна, AlN демонстрира отлична устойчивост на широка гама от химикали и плазми, които обикновено се използват в обработката на полупроводници. Той също така показва превъзходна устойчивост на окисляване дори при повишени температури, като гарантира, че повърхността на електростатичните патронници от алуминиев нитрид остава чиста и незамърсяваща през целия им експлоатационен живот.

Електростатичните патронници Semicorex от алуминиев нитрид се предлагат в различни размери и дебелини, за да се приспособят към различни диаметри на пластини и изисквания към процеса. Тази адаптивност ги прави подходящи за широк спектър от приложения за производство на полупроводници, от научноизследователска и развойна дейност до производство в голям обем.