TaC покрит вафлен рецептор

Semicorex TaC Coated Wafer Susceptor е ключов компонент, използван в металоорганични пещи за химическо отлагане на пари (MOCVD) за епитаксиална (epi) обработка на полупроводници. Този специализиран кръгъл фиксатор е изработен от висококачествен графитен материал и разполага с уникално покритие от танталов карбид (TaC).

Основната цел на TaC покритието е да подобри производителността и издръжливостта на TaC Coated Wafer Susceptor по време на взискателните условия на процесите на производство на полупроводници. Танталовият карбид е известен със своята изключителна твърдост, висока точка на топене и устойчивост на износване и корозия. Тези свойства правят TaC Coated Wafer Susceptor идеален избор за защита на основния графитен susceptor от химични реакции и физически напрежения, които възникват в MOCVD пещта.

TaC Coated Wafer Susceptor играе жизненоважна роля в епитаксиалния растеж на полупроводникови материали чрез улесняване на отлагането на тънки филми върху вафли. Способността му да издържа на високи температури и сурови химически среди е от решаващо значение за постигане на прецизно и надеждно производство на полупроводникови устройства.

TaC Coated Wafer Susceptor, със своето графитно ядро ​​и покритие от танталов карбид, осигурява постоянно и равномерно разпределение на топлината, допринасяйки за възпроизводимостта и качеството на полупроводниковите слоеве, отгледани по време на MOCVD процеса. Тази усъвършенствана комбинация от материали го прави надеждно и издръжливо решение за производство на полупроводници, отговарящо на строгите изисквания на съвременното производство на електронни устройства.