Силициево епитаксиално отлагане в варелен реактор

Semicorex Silicon Epitaxial Deposition In Barrel Reactor е идеален продукт за отглеждане на епиксиални слоеве върху пластинови чипове. Това е високочист графитен носител с SiC покритие, който е силно устойчив на топлина и корозия, което го прави идеален за използване в екстремни среди. Този цевноприемник е подходящ за LPE и осигурява отлични топлинни характеристики, осигурявайки равномерност на топлинния профил. Освен това, той гарантира най-добрия модел на ламинарен газов поток и предотвратява разпространението на замърсяване или примеси във вафлата.

В Semicorex ние се фокусираме върху предоставянето на висококачествени, рентабилни продукти на нашите клиенти. Нашият реактор за силициево епитаксиално отлагане в варел има ценово предимство и се изнася за много европейски и американски пазари. Ние се стремим да бъдем ваш дългосрочен партньор, предоставяйки продукти с постоянно качество и изключително обслужване на клиентите.

Параметри на силициево епитаксиално отлагане в варелен реактор

Характеристики на силициево епитаксиално отлагане в варелен реактор

- Както графитният субстрат, така и слоят от силициев карбид имат добра плътност и могат да играят добра защитна роля при висока температура и корозивна работна среда.

- Сприцепторът с покритие от силициев карбид, използван за монокристален растеж, има много висока плоскост на повърхността.

- Намаляване на разликата в коефициента на топлинно разширение между графитния субстрат и слоя от силициев карбид, ефективно подобряване на якостта на свързване, за да се предотврати напукване и разслояване.

- Както графитният субстрат, така и слоят от силициев карбид имат висока топлопроводимост и отлични свойства за разпределение на топлината.

- Висока точка на топене, устойчивост на окисление при висока температура, устойчивост на корозия.