Semicorex е водещ независим производител на силициев карбид SiC покрит барел суцептор, прецизно машинно обработен графит с висока чистота, фокусиращ се върху областите на производството на полупроводници с покритие от силициев карбид, керамика от силициев карбид, MOCVP. Нашият цилиндър с покритие от силициев карбид SiC има добро ценово предимство и покрива много от европейските и американските пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
SemicorexБарел с покритие от силициев карбид SiCе графитен продукт, покрит с високо пречистен SiC, който има висока устойчивост на топлина и корозия. Подходящ е за LPE. TheСилициев карбидSiC Coated Barrel Susceptor, използван в процеси, които образуват епиксиалния слой върху полупроводникови пластини, който има висока топлопроводимост и отлични свойства за разпределение на топлината.
Свържете се с нас днес, за да научите повече за нашитеСилициев карбидВарелен ток с покритие от SiC.
Параметри наПокритие със силициев карбид SiCЦевноприемник
Основни спецификации на CVD-SIC покритие |
||
SiC-CVD свойства |
||
Кристална структура |
FCC β фаза |
|
Плътност |
g/cm³ |
3.21 |
твърдост |
Твърдост по Викерс |
2500 |
Размер на зърното |
μm |
2~10 |
Химическа чистота |
% |
99.99995 |
Топлинен капацитет |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Температура на сублимация |
℃ |
2700 |
Felexural Сила |
MPa (RT 4 точки) |
415 |
Модулът на Йънг |
Gpa (огъване 4 точки, 1300 ℃) |
430 |
Термично разширение (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлопроводимост |
(W/mK) |
300 |
Характеристики наПокритие със силициев карбид SiCЦевноприемник
- Както графитният субстрат, така и слоят от силициев карбид имат добра плътност и могат да играят добра защитна роля при висока температура и корозивна работна среда.
- Сприцепторът с покритие от силициев карбид, използван за растеж на единични кристали, има много висока плоскост на повърхността.
- Намаляване на разликата в коефициента на топлинно разширение между графитния субстрат и слоя от силициев карбид, ефективно подобряване на якостта на свързване, за да се предотврати напукване и разслояване.
- Както графитният субстрат, така и слоят от силициев карбид имат висока топлопроводимост и отлични свойства за разпределение на топлината.
- Висока точка на топене, устойчивост на окисление при висока температура, устойчивост на корозия.