Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor е висококачествен графитен продукт, покрит със SiC с висока чистота, проектиран специално за LPE процеси. С отлична устойчивост на топлина и корозия, този продукт е идеален за използване в приложения за производство на полупроводници.
Ако търсите високоефективен графитен приемник за образуване на епитаксиален слой върху полупроводникови пластини, Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor е отличен избор. Неговото покритие от силициев карбид осигурява превъзходно разпределение на топлината и топлопроводимост, осигурявайки изключителна производителност дори в най-взискателните среди с висока температура.
В Semicorex ние се фокусираме върху предоставянето на висококачествен, рентабилен цевноприемник на реактора с карбидно покритие, ние даваме приоритет на удовлетвореността на клиентите и предоставяме рентабилни решения. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор, доставяйки висококачествени продукти и изключително обслужване на клиентите.
Параметри на цилиндъра на реактора с карбидно покритие
Основни спецификации на CVD-SIC покритие |
||
SiC-CVD свойства |
||
Кристална структура |
FCC β фаза |
|
Плътност |
g/cm³ |
3.21 |
Твърдост |
Твърдост по Викерс |
2500 |
Размер на зърното |
μm |
2~10 |
Химическа чистота |
% |
99.99995 |
Топлинен капацитет |
J kg-1 K-1 |
640 |
Температура на сублимация |
℃ |
2700 |
Felexural Сила |
MPa (RT 4 точки) |
415 |
Модулът на Йънг |
Gpa (4pt завой, 1300 ℃) |
430 |
Термично разширение (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлопроводимост |
(W/mK) |
300 |
Характеристики на токоприемника на цевта на реактора с карбидно покритие
- Както графитният субстрат, така и слоят от силициев карбид имат добра плътност и могат да играят добра защитна роля при висока температура и корозивна работна среда.
- Сприцепторът с покритие от силициев карбид, използван за монокристален растеж, има много висока плоскост на повърхността.
- Намаляване на разликата в коефициента на топлинно разширение между графитния субстрат и слоя от силициев карбид, ефективно подобряване на якостта на свързване, за да се предотврати напукване и разслояване.
- Както графитният субстрат, така и слоят от силициев карбид имат висока топлопроводимост и отлични свойства за разпределение на топлината.
- Висока точка на топене, устойчивост на окисление при висока температура, устойчивост на корозия.