Носители на вафли с SIC

Носителите на вафли Semicorex SIC са усъвършенствани компоненти, които поддържат вафли за високотемпературни процеси в полупроводникови приложения като епитаксиален растеж, дифузия и CVD. Носителите осигуряват структурни ползи от графита с висока чистота в комбинация с максимални ползи от повърхността, като се използват гъста и равномернаSic покритиеЗа оптимална термична стабилност, химическа устойчивост и механична якост при тежки условия на обработка.

Графитно ядро с висока чист за оптимална топлопроводимост

Нощурите с вафли SIC са субстрат с ултра фино зърно, графит с висока чистота. Това е ефективен термичен проводник, като е както светлина, така и обработка, може да се изработи в сложни геометрии, които се изискват от уникалния размер на вафлата и факторите на процеса. Графитът предлага равномерно отопление на повърхността на вафлите, ограничаващо появата на термични градиенти и дефекти на термичната обработка.

Плътно SIC покритие за повърхностна защита и съвместимост на процесите

Графитният носител е покрит с висока чистота, CVD силиконов карбид. SIC покритието осигурява непромокаема защита, свободна от пори срещу корозия, окисляване и замърсяване на газове от видове като водород, хлор и силан. Крайният резултат е ниско-частичен, труден носител, който не разгражда или губи стабилност на размерите, избира да подлежи на множество топлинни цикли и представлява значително намален потенциал за замърсяване на вафли.

Предимства и ключови характеристики

Термично съпротивление: SIC покритията са стабилни до температури над 1600 ° C, което е оптимизирано за високотемпературна епитаксия и нужди от дифузия.

Отличен химически устойчив: Той издържа на всички корозивни процесорни газове и почистващи химикали и позволява по -дълъг живот и по -малко престой.

Ниско генериране на частици: SIC повърхността свежда до минимум люлеенето на люспите и частиците и поддържа чистата обработка, която е жизненоважна за добива на устройството.

Контрол на размерите: Прецизно проектирано за затваряне на допустимите отклонения, за да се осигури еднаква поддръжка на вафли, така че да може да се обработва автоматично с вафли.

Намаляване на разходите: По -дългите жизнени цикли и по -ниските нужди за поддръжка осигуряват по -ниска обща цена на собственост (TCO) в сравнение с традиционните графитни или голи превозвачи.

Приложения:

Носителите на вафли с SIC се използват широко при производството на силови полупроводници, сложни полупроводници (като GAN, SIC), MEMS, светодиоди и други устройства, изискващи обработка с висока температура в агресивни химични среди. Те са особено важни при епитаксиалните реактори, където повърхностната чистота, издръжливостта и топлинната равномерност влияят пряко върху качеството на вафли и ефективността на производството.

Персонализиране и контрол на качеството

SemicorexSic покритиеНосителите на вафли се произвеждат под строги протоколи за контрол на качеството. Имаме и гъвкавост със стандартни размери и конфигурации и можем да персонализираме инженерни решения, които отговарят на изискванията на клиента. Независимо дали имате 4-инчов или 12-инчов формат на вафли, можем да оптимизираме носителите на вафли за хоризонтални или вертикални реактори, партидна или единична обработка на вафли и специфични рецепти за епитакси.