ICP графит със силиконово въглеродно покритие

ICP Silicon Carbon Coated Graphite на Semicorex е идеалният избор за взискателна обработка на пластини и процеси на отлагане на тънък слой. Нашият продукт може да се похвали с превъзходна устойчивост на топлина и корозия, равномерна топлинна еднородност и оптимални модели на ламинарен газов поток.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Носителите на вафли, използвани при обработката на епитаксиален растеж, трябва да издържат на високи температури и грубо химическо почистване. Semicorex ICP Silicon Carbon Coated Graphite фиксатори са проектирани специално за тези взискателни приложения на оборудване за епитаксия. Нашият продукт е проектиран да издържа на високи температури и грубо химическо почистване, осигурявайки дълготрайност и оптимални резултати.
Нашият ICP Silicon Carbon Coated Graphite е проектиран да постигне най-добрия модел на ламинарен газов поток, осигуряващ равномерност на топлинния профил. Това помага да се предотврати каквото и да е замърсяване или дифузия на примеси, като се гарантира висококачествен епитаксиален растеж върху вафления чип.
Свържете се с нас днес, за да научите повече за нашия ICP Silicon Carbon Coated Graphite.

Параметри на ICP Silicon Carbon Coated Graphite

Основни спецификации на CVD-SIC покритие
SiC-CVD свойства
Кристална структура	FCC β фаза
Плътност	g/cm³	3.21
твърдост	Твърдост по Викерс	2500
Размер на зърното	μm	2~10
Химическа чистота	%	99.99995
Топлинен капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимация	℃	2700
Felexural Сила	MPa (RT 4 точки)	415
Модулът на Йънг	Gpa (4pt завой, 1300 ℃)	430
Термично разширение (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлопроводимост	(W/mK)	300

Характеристики на ICP Silicon Carbon Coated Graphite

- Избягвайте отлепването и осигурете покритие върху цялата повърхност

Устойчивост на високотемпературно окисляване: Стабилен при високи температури до 1600°C

Висока чистота: направено чрез CVD химическо отлагане на пари при условия на високотемпературно хлориране.

Устойчивост на корозия: висока твърдост, плътна повърхност и фини частици.

Устойчивост на корозия: киселини, основи, соли и органични реагенти.

- Постигане на най-добрия модел на ламинарен газов поток

- Гарантирана равномерност на термичния профил

- Предотвратете всякакво замърсяване или дифузия на примеси

Горещи маркери: ICP Графит със силиконово въглеродно покритие, Китай, производители, доставчици, фабрика, персонализиран, насипен, усъвършенстван, издръжлив

Продуктов етикет

Свързана категория