Държачът за пластини на Semicorex за ICP процес на ецване е идеалният избор за взискателна работа с пластини и процеси на отлагане на тънък слой. Нашият продукт може да се похвали с превъзходна устойчивост на топлина и корозия, равномерна топлинна еднородност и оптимални модели на ламинарен газов поток за постоянни и надеждни резултати.
Изберете държача за пластини на Semicorex за ICP процес на ецване за надеждна и последователна производителност при манипулиране на пластини и процеси на отлагане на тънък слой. Нашият продукт предлага устойчивост на високотемпературно окисляване, висока чистота и устойчивост на корозия към киселина, основи, сол и органични реагенти.
Нашият държач за пластини за ICP процес на ецване е проектиран да постигне най-добрия модел на ламинарен газов поток, осигуряващ равномерност на топлинния профил. Това помага да се предотврати каквото и да е замърсяване или дифузия на примеси, като се гарантира висококачествен епитаксиален растеж върху пластинковия чип.
Свържете се с нас днес, за да научите повече за нашия държач за пластини за ICP процес на ецване.
Параметри на държача за пластини за ICP процес на ецване
Основни спецификации на CVD-SIC покритие |
||
SiC-CVD свойства |
||
Кристална структура |
FCC β фаза |
|
Плътност |
g/cm³ |
3.21 |
Твърдост |
Твърдост по Викерс |
2500 |
Размер на зърното |
μm |
2~10 |
Химическа чистота |
% |
99.99995 |
Топлинен капацитет |
J kg-1 K-1 |
640 |
Температура на сублимация |
℃ |
2700 |
Felexural Сила |
MPa (RT 4 точки) |
415 |
Модулът на Йънг |
Gpa (4pt завой, 1300 ℃) |
430 |
Термично разширение (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлопроводимост |
(W/mK) |
300 |
Характеристики на държача за пластини за ICP процес на ецване
- Избягвайте отлепването и осигурете покритие върху цялата повърхност
Устойчивост на окисление при висока температура: Стабилен при високи температури до 1600°C
Висока чистота: направено чрез CVD химическо отлагане на пари при условия на високотемпературно хлориране.
Устойчивост на корозия: висока твърдост, плътна повърхност и фини частици.
Устойчивост на корозия: киселини, основи, соли и органични реагенти.
- Постигане на най-добрия модел на ламинарен газов поток
- Гарантирана равномерност на термичния профил
- Предотвратете всякакво замърсяване или дифузия на примеси