Продукти

Изработен от високоефективни CVD SiC материали, Semicorex CVD SiC фокусен пръстен за 2L10-506419-21 е ключовата част на пръстена, проектирана специално за оборудването TEL VIGUS RK4, използвано в процесите на прецизно ецване на полупроводници. Изборът на Semicorex означава, че ще получите идеалните решения за CVD SiC за постигане на прецизни и еднакви резултати при ецване.

Планетарните фиксатори с покритие от SiC от Semicorex са високопрецизни графитни поддържащи компоненти, покрити с плътно покритие от силициев карбид, специално проектирано за усъвършенствано оборудване MOCVD. Те могат да осигурят равномерен газов поток и топлинно разпределение, като по този начин допринасят за създаването на оптимална епитаксиална среда.

Лодките за керамични пластини Semicorex SiC са високоефективни решения от силициев карбид, проектирани да поддържат и транспортират безопасно пластини по време на най-съвременното производство на полупроводници. Благодарение на тези отлични предимства, те са много подходящи за прецизни високотемпературни производствени процеси на полупроводници като окисление, дифузия и CVD процеси.

Дисковете за отклоняване на газ с покритие от Semicorex SiC са незаменими графитни компоненти, използвани в полупроводниковото епитаксиално оборудване, проектирани специално за регулиране на потока на реакционния газ и насърчаване на равномерното разпределение на газа в реакционната камера. Изберете Semicorex, изберете оптималните решения за отклоняване на газ за висококачествени епитаксиални резултати на пластини.

Semicorex SiC Wafer Carrier е изработен от керамика от силициев карбид с висока чистота, чрез технология за 3D печат, което означава, че може да постигне високоценни машинни компоненти за кратко време. Смята се, че Semicorex предоставя квалифицирани висококачествени продукти на нашите клиенти в цял свят.*

Semicorex CVD SiC-покрити горни земни пръстени са основните пръстеновидни компоненти, проектирани специално за усъвършенстваното оборудване за плазмено ецване. Като водещ в индустрията доставчик на полупроводникови компоненти, Semicorex се фокусира върху доставянето на висококачествени, дълготрайни и ултра-чисти горни заземени пръстени с CVD SiC покритие, за да помогне на нашите уважаеми клиенти да подобрят оперативната ефективност и цялостното качество на продукта.