Продукти

Когато става въпрос за процеси за обработка на пластини като епитаксия и MOCVD, високотемпературното SiC покритие на Semicorex за камери за плазмено ецване е най-добрият избор. Нашите носители осигуряват превъзходна устойчивост на топлина, дори топлинна еднородност и трайна химическа устойчивост благодарение на нашето фино кристално покритие от SiC.

Таблата за плазмено ецване ICP на Semicorex е проектирана специално за процеси на обработка на пластини при висока температура като епитаксия и MOCVD. Със стабилна устойчивост на високотемпературно окисляване до 1600°C, нашите носители осигуряват равномерни топлинни профили, модели на ламинарен газов поток и предотвратяват замърсяване или дифузия на примеси.

Носачът с SiC покритие на Semicorex за ICP Plasma Etching System е надеждно и рентабилно решение за процеси на обработка на пластини при висока температура, като епитаксия и MOCVD. Нашите носители се отличават с фино кристално покритие от SiC, което осигурява превъзходна устойчивост на топлина, равномерна топлинна еднородност и трайна химическа устойчивост.

Токоприемникът с покритие от силициев карбид на Semicorex за индуктивно свързана плазма (ICP) е проектиран специално за процеси на обработка на пластини при висока температура като епитаксия и MOCVD. Със стабилна устойчивост на високотемпературно окисление до 1600°C, нашите носители осигуряват равномерни топлинни профили, модели на ламинарен газов поток и предотвратяват замърсяване или дифузия на примеси.

Държачът за пластини за ецване ICP на Semicorex е идеалното решение за процеси на работа с пластини при висока температура, като епитаксия и MOCVD. Със стабилна устойчивост на високотемпературно окисление до 1600°C, нашите носители осигуряват равномерни топлинни профили, модели на ламинарен газов поток и предотвратяват замърсяване или дифузия на примеси.

ICP Etching Carrier Plate на Semicorex е идеалното решение за взискателна обработка на вафли и процеси на отлагане на тънък слой. Нашият продукт осигурява превъзходна устойчивост на топлина и корозия, равномерна топлинна еднородност и модели на ламинарен газов поток. С чиста и гладка повърхност, нашият носач е перфектен за работа с чисти вафли.