ICP ецваща носеща плоча

ICP Etching Carrier Plate на Semicorex е идеалното решение за взискателна обработка на вафли и процеси на отлагане на тънък слой. Нашият продукт осигурява превъзходна устойчивост на топлина и корозия, равномерна топлинна еднородност и модели на ламинарен газов поток. С чиста и гладка повърхност, нашият носач е перфектен за работа с чисти вафли.

Изпратете запитване

Описание на продукта

ICP Etching Carrier Plate на Semicorex осигурява отлична издръжливост и дълготрайност при обработка на вафли и процеси на отлагане на тънък слой. Нашият продукт може да се похвали с превъзходна устойчивост на топлина и корозия, равномерна топлинна еднородност и модели на ламинарен газов поток. С чиста и гладка повърхност, нашият носач осигурява оптимално боравене с чисти вафли. Оттеглете висока температура, химическо почистване, както и висока топлинна равномерност.
Свържете се с нас днес, за да научите повече за нашата носеща плоча за ецване ICP.

Параметри на ICP ецваща носеща плоча

Основни спецификации на CVD-SIC покритие
SiC-CVD свойства
Кристална структура	FCC β фаза
Плътност	g/cm³	3.21
Твърдост	Твърдост по Викерс	2500
Размер на зърното	μm	2~10
Химическа чистота	%	99.99995
Топлинен капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимация	℃	2700
Felexural Сила	MPa (RT 4 точки)	415
Модулът на Йънг	Gpa (4pt завой, 1300 ℃)	430
Термично разширение (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлопроводимост	(W/mK)	300