Таблата за плазмено ецване ICP на Semicorex е проектирана специално за процеси на обработка на пластини при висока температура като епитаксия и MOCVD. Със стабилна устойчивост на високотемпературно окисляване до 1600°C, нашите носители осигуряват равномерни топлинни профили, модели на ламинарен газов поток и предотвратяват замърсяване или дифузия на примеси.
Нашата ICP тава за плазмено ецване е покрита със силициев карбид чрез CVD метод, който е идеалното решение за процеси на обработка на вафли, които изискват високотемпературно и грубо химическо почистване. Носителите на Semicorex разполагат с фино кристално покритие от SiC, което осигурява равномерни топлинни профили, модели на ламинарен газов поток и предотвратява замърсяване или дифузия на примеси.
В Semicorex ние се фокусираме върху предоставянето на висококачествени, рентабилни продукти на нашите клиенти. Нашата ICP тава за плазмено ецване има ценово предимство и се изнася за много европейски и американски пазари. Ние се стремим да бъдем ваш дългосрочен партньор, предоставяйки продукти с постоянно качество и изключително обслужване на клиентите.
Свържете се с нас днес, за да научите повече за нашата ICP плазмена табла за ецване.
Параметри на ICP тава за плазмено ецване
Основни спецификации на CVD-SIC покритие |
||
SiC-CVD свойства |
||
Кристална структура |
FCC β фаза |
|
Плътност |
g/cm³ |
3.21 |
твърдост |
Твърдост по Викерс |
2500 |
Размер на зърното |
μm |
2~10 |
Химическа чистота |
% |
99.99995 |
Топлинен капацитет |
J kg-1 K-1 |
640 |
Температура на сублимация |
℃ |
2700 |
Felexural Сила |
MPa (RT 4 точки) |
415 |
Модулът на Йънг |
Gpa (огъване 4 точки, 1300 ℃) |
430 |
Термично разширение (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлопроводимост |
(W/mK) |
300 |
Характеристики на ICP Plasma Etching Tray
- Избягвайте отлепването и осигурете покритие върху цялата повърхност
Устойчивост на високотемпературно окисляване: Стабилен при високи температури до 1600°C
Висока чистота: направено чрез CVD химическо отлагане на пари при условия на високотемпературно хлориране.
Устойчивост на корозия: висока твърдост, плътна повърхност и фини частици.
Устойчивост на корозия: киселини, основи, соли и органични реагенти.
- Постигане на най-добрия модел на ламинарен газов поток
- Гарантирана равномерност на термичния профил
- Предотвратете всякакво замърсяване или дифузия на примеси