Водещи пръстени с покритие от танталов карбид

Водещите пръстени обикновено се монтират над графитния тигел в рамките на системата за термично поле. Те работят заедно с тигела, нагревателя и топлоизолационния цилиндър и други полупроводникови компоненти, за да направляват и контролират разпределението на топлина и технологични газове.

Апредимствана Танталов карбид покритие

Известен с превъзходното представяне наTaC покритиев приложения за растеж на полупроводникови монокристали от трето поколение покритието от танталов карбид предлага следните предимства:

1. Изключителна термична стабилност

Танталовият карбид се характеризира с превъзходна термична устойчивост с ултрависока точка на топене от 3880 ℃. Отличаващи се с тази изключителна термична стабилност, направляващите пръстени с покритие от танталов карбид Semicorex могат да се използват стабилно в среда с висока температура под 2500 ℃. В допълнение, комбинацията от тези два материала минимизира рисковете от напукване и лющене на покритието, причинени от температурни промени, което значително позволява структурната цялост на компонента по време на повтарящи се процеси на нагряване и охлаждане.

2. Забележителна устойчивост на корозия

Танталовият карбид има забележителна устойчивост на корозия и устойчивост на окисляване и е химически инертен към повечето реактивни газове като амоняк, водород и силиций. Благодарение на тази химическа стабилност, направляващите пръстени с покритие от танталов карбид Semicorex ефективно предотвратяват ерозията на матрицата от реактивни газове и увреждането на тяхната структурна цялост, като същевременно избягват риска от замърсяване от реагенти и примеси, навлизащи в кристалната структура.

Ефективността на водещите пръстени с покритие от танталов карбид Semicorex

Semicorexводещи пръстени с покритие от танталов карбидизползвайте графит с висока чистота като матрица и нанесете TaC покритието върху повърхността чрез CVD технология. Комбинацията от тези два материала позволява на направляващите пръстени с покритие от танталов карбид Semicorex да предоставят следните предимства:

1.Насочване на газовия поток и оптимизиране на полето на потока

По време на растежа на кристала, използването на водещи пръстени помага за оптимизиране на разпределението на потока в термичното поле и насочва реактивните газове към контролирана посока на потока и равномерно разпределение. Благодарение на специалния си структурен дизайн, направляващите пръстени с покритие от танталов карбид Semicorex могат да насочват газа да тече и да се разпределя равномерно, което ефективно избягва прекомерно високи или ниски локални газови концентрации.

2. Регулиране на температурата и оптимизиране на термичното поле

Водещите пръстени с покритие от танталов карбид Semicorex показват превъзходна топлопроводимост, като играят решаваща роля в подпомагането на регулирането на разпределението на температурата и осигуряват стабилно температурно поле за растеж на кристали. Например, направляващите пръстени с покритие от танталов карбид Semicorex могат да помогнат за поддържане на температурния градиент в PVT растежа на кристали от силициев карбид, като гарантират, че материалите се разлагат, транспортират и кристализират при подходящи условия.