Тръба с покритие от TaC

Semicorex TaC Coated Tube представлява върхът на науката за материалите, проектиран да издържа на екстремни условия, срещани при усъвършенстваното производство на полупроводници. Създадена чрез нанасяне на плътен, равномерен слой от TaC върху изотропен графитен субстрат с висока чистота чрез химическо отлагане на пари (CVD), тръбата с покритие от TaC предлага завладяваща комбинация от свойства, които превъзхождат конвенционалните материали в взискателни високотемпературни и химически агресивни среди. **

Изпратете запитване

Описание на продукта

Силата на Semicorex TaC Coated Tube се крие в синергичната комбинация от основния материал и специализираното покритие:

Изотропна графитна основа с висока чистота:Сърцевината на тръбата с покритие от TaC се формира от изотропен графит със свръхвисока чистота, известен със своята отлична топлопроводимост, ниско топлинно разширение и присъща устойчивост на термичен удар. Тази основа осигурява здрава и стабилна платформа, способна да издържи на бързите температурни колебания и високите топлинни натоварвания, характерни за обработката на полупроводници.

Танталов карбид---Щит от издръжливост и инертност:Приложеното чрез CVD TaC покритие трансформира графитната основа, придавайки изключителна твърдост, устойчивост на износване и химическа инертност. Този защитен слой действа като бариера срещу агресивните газове, плазма и реактивни видове, срещани по време на производството на полупроводници, осигурявайки структурната цялост и дълголетие на тръбата.

Тази уникална комбинация от материали се превръща в набор от предимства, които са критични за усъвършенстваното производство на полупроводници:

Ненадмината температурна устойчивост:TaC може да се похвали с една от най-високите точки на топене от всички известни материали, надминавайки дори силициевия карбид (SiC). Тази екстремна температурна устойчивост позволява на тръбата с покритие от TaC да работи надеждно в процеси, изискващи температури над 2500°C, което позволява производството на полупроводникови устройства от следващо поколение с взискателни топлинни бюджети.

Свръхвисока чистота за критичен контрол на процеси:Поддържането на непокътнати производствени среди е от първостепенно значение при производството на полупроводници. Използването на графит с висока чистота и прецизният процес на нанасяне на CVD покритие осигуряват минимално отделяне на газове или генериране на частици от тръбата с покритие от TaC, предотвратявайки замърсяване, което може да компрометира чувствителните повърхности на пластините и работата на устройството.

Непоколебима химическа устойчивост:Химическата инертност на тръбата с покритие от TaC осигурява изключителна устойчивост на широк спектър от корозивни газове, реактивни йони и плазмени среди, които обикновено се използват в полупроводникови процеси като ецване, отлагане и отгряване. Тази стабилна химическа стабилност води до удължен живот на тръбата, намалени изисквания за поддръжка и по-ниска обща цена на притежание.

Подобрена механична издръжливост за удължен експлоатационен живот:Силната сила на свързване между TaC покритието и графитния субстрат, съчетана с присъщата твърдост на тръбата с TaC покритие, осигурява изключителна устойчивост на износване, ерозия и механично напрежение. Тази подобрена издръжливост се изразява в по-дълъг експлоатационен живот и намалено време за престой за подмяна, подобряване на ефективността на процеса и производителността.