Графитни части с TaC покритие

Графитните части с покритие Semicorex TaC са изработени от изостатичен графит с висока чистота и са покрити с танталов карбид (TaC), който осигурява несравнима устойчивост на екстремни температури. Графитните части с TaC покритие са проектирани да издържат на строгите условия, срещани в производството на полупроводници, и са отлични за подобряване на различни процеси, които са от решаващо значение за производството на висококачествени полупроводникови продукти. Тяхната изключителна топлоустойчивост гарантира надеждност и дълъг живот, дори и в най-предизвикателните топлинни среди.

Графитните части с TaC покритие играят основна роля в оптимизирането на ключови техники за обработка на полупроводници, включително процеси на дифузия, окислително отгряване, LPCVD и PECVD. Чрез улесняване на прецизния контрол върху температурата и осигуряване на еднаквост в субстратите, графитните части с TaC покритие допринасят значително за подобряване на качеството на продукта и ефективността на производството.

Графитните части с TaC покритие на Semicorex са проектирани да отговарят на строгите изисквания на производството на полупроводници. От подобряване на процесите на дифузия до подобряване на качеството и ефективността на различни техники за отлагане, графитните части с TaC покритие са незаменими активи в преследването на съвършенство в производството на полупроводници.