Фокусиращ пръстен от твърд силициев карбид

При производството на полупроводници, фокусиращият пръстен от твърд силициев карбид Semicorex играе решаваща роля, като действа като екран, запазвайки целостта на пластината по време на процеса на ецване. Неговият прецизно проектиран дизайн осигурява прецизно и равномерно ецване, като по този начин улеснява производството на изключително сложни полупроводникови елементи, които показват превъзходна производителност и надеждност.

Силициевият карбид е избраният материал за фокусиращия пръстен поради неговата превъзходна устойчивост на плазмена корозия, когато е изложен на плазма във вакуумната реакционна камера. Фокусиращият пръстен от твърд силициев карбид превъзхожда традиционния силиций в няколко аспекта, включително:

(1) Висока плътност, която минимизира скоростите на ецване.

(2) Превъзходна междина на лентата и отлични изолационни свойства.

(3) Изключителна топлопроводимост, нисък коефициент на топлинно разширение и устойчивост на термичен удар.

(4) Висока еластичност, съчетана с отлична устойчивост на механични въздействия.

(5) Изключителна твърдост, устойчивост на износване и устойчивост на корозия.

Проводимостта на силициевия карбид и устойчивостта на йонно ецване са сходни със силиция, което прави фокусиращия пръстен от твърд силициев карбид идеален материал за това приложение.

Фокусиращият пръстен от твърд силициев карбид Semicorex е най-съвременното решение в сферата на производството на полупроводници. Той използва уникалните свойства на CVD SiC, за да улесни надеждни, високопроизводителни процеси на ецване, което значително допринася за напредъка на полупроводниковата технология.