Фокусиращ пръстен от твърд силициев карбид

Фокусиращият пръстен от твърд силициев карбид Semicorex е основен компонент в производството на полупроводници, стратегически разположен извън пластината, за да поддържа директен контакт. Чрез използване на приложено напрежение, този пръстен фокусира преминаващата през него плазма, като по този начин подобрява еднородността на процеса върху пластината. Изработен единствено от силициев карбид с химическо отлагане на пари (CVD SiC), този пръстен за фокусиране въплъщава изключителните качества, изисквани от полупроводниковата индустрия. Ние от Semicorex сме посветени на производството и доставката на високопроизводителен фокусиращ пръстен от твърд силициев карбид, който съчетава качеството с рентабилността.

Изпратете запитване

Описание на продукта

При производството на полупроводници, фокусиращият пръстен от твърд силициев карбид Semicorex играе решаваща роля, като действа като екран, запазвайки целостта на пластината по време на процеса на ецване. Неговият прецизно проектиран дизайн осигурява прецизно и равномерно ецване, като по този начин улеснява производството на изключително сложни полупроводникови елементи, които показват превъзходна производителност и надеждност.

Силициевият карбид е избраният материал за фокусиращия пръстен поради неговата превъзходна устойчивост на плазмена корозия, когато е изложен на плазма във вакуумната реакционна камера. Фокусиращият пръстен от твърд силициев карбид превъзхожда традиционния силиций в няколко аспекта, включително:

(1) Висока плътност, която минимизира скоростите на ецване.

(2) Превъзходна междина на лентата и отлични изолационни свойства.

(3) Изключителна топлопроводимост, нисък коефициент на топлинно разширение и устойчивост на термичен удар.

(4) Висока еластичност, съчетана с отлична устойчивост на механични въздействия.

(5) Изключителна твърдост, устойчивост на износване и устойчивост на корозия.

Проводимостта на силициевия карбид и устойчивостта на йонно ецване са сходни със силиция, което прави фокусиращия пръстен от твърд силициев карбид идеален материал за това приложение.

Фокусиращият пръстен от твърд силициев карбид Semicorex е най-съвременното решение в сферата на производството на полупроводници. Той използва уникалните свойства на CVD SiC, за да улесни надеждни, високопроизводителни процеси на ецване, което значително допринася за напредъка на полупроводниковата технология.

Горещи маркери: Фокусиращ пръстен от твърд силициев карбид, Китай, производители, доставчици, фабрика, персонализиран, насипен, усъвършенстван, издръжлив