Графитна душ слушалка с CVD SiC покритие

Semicorex CVD SiC (Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide) душ глава с покритие от графит е специализиран компонент, използван в различни индустриални процеси, като химическо отлагане на пари (CVD) и плазмено усилено химическо отлагане на пари (PECVD). Той играе решаваща роля в доставянето на прекурсорни газове или реактивни видове върху повърхността на субстрата по време на тези процеси на отлагане.

Графитната душ глава с CVD SiC покритие е изработена от графит с висока чистота и покрита с тънък слой SiC чрез CVD метод. CVD SiC покрита графитна душ глава съчетава полезните свойства на графита и SiC, което я прави основен компонент в различни процеси на отлагане, където се изисква прецизно и равномерно разпределение на газа, заедно с устойчивост на високи температури и химически среди.

Характеристики:

Химическа устойчивост

Термична стабилност

Гладка и равномерна повърхност

Намалено замърсяване