CVD душ слушалка със SiC покритие

Изработена от графит с висока чистота и обвита в тънък слой SiC чрез метода CVD, CVD душ слушалката със SiC Coat обединява предимствата както на графита, така и на SiC. Тази синергия води до компонент, който не само се отличава с осигуряването на последователно и точно разпределение на газовете, но също така може да се похвали със забележителна устойчивост срещу термични и химични суровини, често срещани в среди за отлагане.

Ключът към функционалността на душовата глава CVD със SiC Coat е способността й за равномерно разпръскване на прекурсорни газове по повърхността на субстрата, задача, постигната чрез стратегическото му разположение над субстрата и прецизния дизайн на малки дупки или дюзи, препъващи повърхността му. Това равномерно разпределение е от основно значение за постигане на последователни резултати от отлагането.

Изборът на SiC като материал за покритие за CVD душ глава със SiC Coat не е произволен, а се основава на неговата превъзходна топлопроводимост и химическа стабилност. Тези свойства са от съществено значение за смекчаване на натрупването на топлина по време на процеса на отлагане и поддържане на равномерна температура в субстрата, в допълнение към осигуряването на здрава защита срещу корозивните газове и суровите условия, които са типични за CVD процесите.

Създаден, за да отговори на специфичните изисквания на различни CVD системи и изисквания на процесите, дизайнът на CVD душ слушалката със SiC Coat включва форма на плоча или диск, оборудвана с щателно изчислен набор от отвори или слотове. душовата глава CVD с дизайн на SiC Coat осигурява не само равномерно разпределение на газа, но и оптималните скорости на потока, които са от съществено значение за процеса на отлагане, подчертавайки ролята на компонента като стержен в преследването на прецизност и еднородност в процесите на отлагане на материали.