Твърди перки от силициев карбид

Полукорекс твърдребра от силициев карбидобикновено се инсталират като топлоизолационни компоненти във вертикални пещни тръби на оборудване за термична обработка на полупроводници, като RTP пещи за отгряване и дифузионни пещи. Ребрата от твърд силициев карбид Semicorex могат ефективно да регулират разпределението на температурата във високотемпературни пещи и да сведат до минимум топлинното увреждане на уплътнителните части на вратата на процеса, причинено от високи температури. При работни условия на мокро оксидиране ребра от твърд силициев карбид Semicorex могат да се използват за ефективно предотвратяване на отрицателни въздействия върху резултатите от процеса и полупроводниковите устройства, причинени от кондензация на водна пара при относително ниски температури на процеса.

Предимствата на ребрата от твърд силициев карбид Semicorex

1. Отлична устойчивост на износване

CVD SiC се характеризира с поликристална кубична кристална структура, с изключителна твърдост, отстъпваща само на диаманта. Отличната устойчивост на износване на ребрата от твърд силициев карбид Semicorex се дължи на това свойство, което ги прави да издържат на абразия по време на работа и подмяна.

2. Превъзходен капацитет за управление на топлината

CVD SiC осигурява отлична термична устойчивост и стабилност при висока температура, която не се топи или омекотява при температури до приблизително 2000°C и запазва стабилността си преди сублимация при ултрависока температура. Благодарение на тези превъзходни термични характеристики, ребрата от твърд силициев карбид Semicorex са изключително подходящи за предизвикателни условия на термична обработка на полупроводници.

3. Изключително висока чистота

CVD-SiCсе произвежда без добавки за синтероване по време на процеса на отлагане. В сравнение с конвенционалния реакционно свързан силициев карбид, той се характеризира с много по-висока чистота, достигаща над 99,9995%. Това ефективно предотвратява замърсяването с метални примеси на ребрата от твърд силициев карбид Semicorex, причинено от високи температури в производствената среда, като напълно отговаря на изискването за чистота на усъвършенстваното производство на полупроводници.

4. Надеждна устойчивост на корозия

Ребрата от твърд силициев карбид Semicorex могат да издържат на силно окислителни и силно киселинни технологични газове, използвани в процесите на термична обработка на полупроводници, благодарение на изключителната химическа инертност на CVD SiC при високи температури. Тази надеждна устойчивост на корозия ефективно удължава техния експлоатационен живот, намалявайки разходите за подмяна на компоненти.

5. Прецизна точност на обработка

За да осигури съвместимост с различни тръби на пещта, Semicorex може да персонализира ребра от твърд силициев карбид според изискванията на клиента за диаметър, дебелина, размер на отвора, плоскост и толеранси на размерите. Тази прецизност на обработка с висок стандарт гарантира стабилна работа на ребрата в оборудването и помага за оптимизиране на цялостната ефективност на приложенията за топлинна обработка на полупроводници.