Монокристален силициев Epi рецептор

Монокристалният силициев Epi Susceptor е основен компонент, проектиран за процеси на Si-GaN епитаксия, който може да бъде пригоден към индивидуализирани спецификации и предпочитания, осигурявайки индивидуално решение, което отговаря перфектно на специфичните изисквания. Независимо дали включва модификации в размерите или корекции в дебелината на покритието, ние притежаваме способността да проектираме и доставим продукт, който се приспособява към различни параметри на процеса, като по този начин оптимизира производителността за целеви приложения. Ангажиментът на Semicorex към водещо на пазара качество, съчетан с конкурентни фискални съображения, затвърждава желанието ни да установим партньорства при изпълнение на вашите изисквания за транспортиране на полупроводникови пластини.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Сцепторите в епитаксиалната обработка на растеж изискват способността да издържат на повишени температури и да издържат на строги процедури за химическо почистване. Монокристалният силициев Epi Susceptor е щателно проектиран, за да отговори специално на тези взискателни изисквания, срещани в приложенията на оборудването за епитаксия.

Тези фиксатори могат да се похвалят с конструкция, включваща графит с покритие от силициев карбид (SiC) с висока чистота, което придава несравнима устойчивост на топлина, осигурявайки равномерно топлинно разпределение за постоянна дебелина и устойчивост на епитаксиалния слой.

В допълнение, монокристалният силициев Epi Susceptor показва забележителна издръжливост срещу агресивни химически почистващи агенти. Използването на фино кристално покритие от SiC допълнително допринася за чиста, гладка повърхност, което е от първостепенно значение за ефективното боравене, тъй като неопетнените пластини влизат в контакт с възприемателя в множество точки по цялата им повърхност.

Използването на Single-crystal Silicon Epi Susceptor гарантира непоколебима надеждност и удължен живот, намалявайки нуждата от чести смени и впоследствие минимизирайки времето на престой и разходите за поддръжка. Неговата здрава конструкция и изключителни оперативни възможности значително допринасят за повишена ефективност на процеса, като в крайна сметка повишават производителността и рентабилността в областта на производствените операции на полупроводници.