Монокристален силициев вафлен ток

Semicorex Monocrystalline Silicon Wafer Susceptor е идеалното решение за процеси на графитна епитаксия и работа с пластини. Нашият изключително чист продукт осигурява минимално замърсяване и изключителна производителност с дълъг живот, което го прави популярен избор на много европейски и американски пазари. Като водещ доставчик на носители за полупроводникови пластини в Китай, ние очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Нашият монокристален силициев епитаксиален ток е графитен продукт, покрит със SiC с висока чистота, който има висока устойчивост на топлина и корозия. CVD носителят с покритие от силициев карбид се използва в процеси, които образуват епитаксиалния слой върху полупроводникови пластини. Той има висока топлопроводимост и отлични свойства за разпределение на топлината, които са от съществено значение за ефективните и прецизни процеси на производство на полупроводници.
Една от ключовите характеристики на нашия монокристален силициев вафлен ток е неговата отлична плътност. Както графитният субстрат, така и слоят от силициев карбид имат добра плътност и могат да играят добра защитна роля при висока температура и корозивна работна среда. Сприцепторът с покритие от силициев карбид, използван за растеж на монокристал, има много висока плоскост на повърхността, което е от съществено значение за поддържане на висококачествено производство на пластини.
Друга важна характеристика на нашия продукт е способността му да намалява разликата в коефициента на топлинно разширение между графитния субстрат и слоя от силициев карбид. Това ефективно подобрява здравината на свързване, предотвратявайки напукване и разслояване. Освен това, както графитният субстрат, така и слоят от силициев карбид имат висока топлопроводимост и отлични свойства за разпределение на топлината, гарантирайки, че топлината се разпределя равномерно по време на производствения процес.
Нашият монокристален силициев вафлен ток също е устойчив на високотемпературно окисляване и корозия, което го прави надежден и издръжлив продукт. Високата му точка на топене гарантира, че може да издържи на високотемпературната среда, необходима за ефективно производство на полупроводници.
В заключение, Semicorex монокристален силиконов вафъл суцептор е ултра-чисто, издръжливо и надеждно решение за процеси на графитна епитаксия и обработка на вафли. Неговата отлична плътност, плоскост на повърхността и топлопроводимост го правят идеален за използване при висока температура и корозивни среди. Ние се гордеем с предоставянето на висококачествени продукти на конкурентни цени и очакваме с нетърпение да си партнираме с вас за всички ваши нужди от носители на полупроводникови пластини.

Параметри на монокристален силициев пластинчат сенцептор

Основни спецификации на CVD-SIC покритие
SiC-CVD свойства
Кристална структура	FCC β фаза
Плътност	g/cm³	3.21
Твърдост	Твърдост по Викерс	2500
Размер на зърното	μm	2~10
Химическа чистота	%	99.99995
Топлинен капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимация	℃	2700
Felexural Сила	MPa (RT 4 точки)	415
Модулът на Йънг	Gpa (4pt завой, 1300 ℃)	430
Термично разширение (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлопроводимост	(W/mK)	300

Характеристики на монокристалния силициев вафлен сенцептор

- Избягвайте отлепването и осигурете покритие върху цялата повърхност
Устойчивост на високотемпературно окисляване: Стабилен при високи температури до 1600°C
Висока чистота: направено чрез CVD химическо отлагане на пари при условия на високотемпературно хлориране.
Устойчивост на корозия: висока твърдост, плътна повърхност и фини частици.
Устойчивост на корозия: киселини, основи, соли и органични реагенти.
- Постигане на най-добрия модел на ламинарен газов поток
- Гарантирана равномерност на термичния профил
- Предотвратете всякакво замърсяване или дифузия на примеси