Силиконов пиедестал

Silicon Pedestal Semicorex, често пренебрегван, но критично важен компонент, играе жизненоважна роля за постигането на прецизни и повтарящи се резултати в процесите на дифузия и окисляване на полупроводници. Специализираната платформа, върху която почиват силиконовите лодки във високотемпературни пещи, предлага уникални предимства, които пряко допринасят за подобрена равномерност на температурата, подобрено качество на пластините и в крайна сметка превъзходна производителност на полупроводниковите устройства.**

Изпратете запитване

Описание на продукта

1. Силиконов пиедестал Semicorex, стабилизиращ обработващата среда за оптимални резултати:

Създаване на стабилна основа за кристални лодки:Силиконовият пиедестал осигурява здрава и термично стабилна платформа за силициеви лодки в камерата на високотемпературната пещ. Тази стабилност гарантира, че лодките поддържат своята позиция и ориентация по време на целия процес, предотвратявайки нежелано движение или накланяне, което може да наруши динамиката на газовия поток и да компрометира равномерността на температурата.

Подобряване на равномерността на температурата в реакционната камера:Чрез ефективно изолиране на силиконовата лодка от пода и стените на пещта, силиконовият пиедестал минимизира загубата на топлина чрез проводимост и насърчава по-равномерно разпределение на температурата в тръбата за термична реакция. Тази подобрена способност за термично управление е от решаващо значение за постигане на последователни и повтарящи се профили на дифузия или окисление по цялата повърхност на пластината.

Повишаване на ефективността на изолацията за оптимизирано използване на енергия:Присъщите топлоизолационни свойства на Silicon Pedestal допринасят за по-енергийно ефективен процес чрез минимизиране на топлинните загуби в околната среда. Това означава по-бързи цикли на отопление и охлаждане, намалена консумация на енергия и в крайна сметка по-ниски общи разходи за обработка.

2. Материална синергия за превъзходно качество на вафлата:

Съответстващо термично разширение за намалено напрежение на вафли:Силициевият пиедестал, произведен от същия силициев материал с висока чистота като самите лодки и пластини, предлага решаващо предимство пред алтернативни материали като кварц или силициев карбид. Тази материална синергия гарантира, че пиедесталът, лодката и пластините се разширяват и свиват с почти еднакви скорости по време на цикли на нагряване и охлаждане, минимизирайки риска от термичен стрес, извиване на пластини и кристалографски дефекти, които могат да повлияят отрицателно на добива и производителността на устройството.

Минимизиране на замърсяването и несъответствията на решетката:Използването на силиций с висока чистота както за силиконовия пиедестал, така и за лодката елиминира потенциала за замърсяване от различни материали, осигурявайки чиста среда за обработка на пластините. Тази съвместимост на материала също минимизира риска от несъответствия на решетката на интерфейса пластина-лодка, което допълнително допринася за подобрено качество на кристала и намалена плътност на дефектите.