Керамична вафлена лодка SiC

Semicorex SiC Ceramic Wafer Boat се отличава с уникална комбинация от свойства на материала, които я правят идеално подходяща за суровото производство на полупроводници и фотоволтаици:

Непоколебима стабилност при високи температури:Обработката на вафли често включва екстремни температури, които тласкат конвенционалните материали до техните граници. SiC Ceramic Wafer Boat проявява изключителна устойчивост на висока температура, запазвайки своята структурна цялост и механични свойства дори при температури над 1650°C (3000°F). Това позволява използването им в критични процеси като дифузия и отгряване, където прецизният температурен контрол и стабилността на пластините са от първостепенно значение.

Непревземаема крепост срещу корозия:Силните химикали и агресивните вещества, използвани в производството на полупроводници и фотоволтаици, представляват значително предизвикателство за целостта на материала. SiC Ceramic Wafer Boat показва превъзходна устойчивост на корозия в сравнение с повечето метали и други керамики, издържайки на продължително излагане на широк спектър от киселини, разтворители, соли и органични съединения. Тази инертност гарантира дълголетието на лодката, предотвратява замърсяване от разграждане на материала и защитава чистотата на критичните етапи на процеса.

Чистота без усилие за безкомпромисна чистота:Поддържането на непокътнати повърхности на вафли е от първостепенно значение за постигане на висока производителност и производителност на устройството. Непорестата повърхност и устойчивостта на химическа атака на SiC Ceramic Wafer Boat я правят изключително лесна за почистване. Замърсителите се отстраняват лесно, предотвратявайки кръстосано замърсяване между процесите и осигурявайки девствената среда, необходима за високопроизводителни полупроводникови и фотоволтаични устройства.

Устойчивост срещу термичен и механичен стрес:Обработката на вафли често включва бързи температурни промени и механично боравене, което може да предизвика напрежение и да повреди податливите материали. Здравите механични свойства на SiC Ceramic Wafer Boat, включително висока твърдост и изключителна устойчивост на термичен шок, гарантират нейната структурна цялост дори при взискателни условия. Това минимизира риска от генериране на частици или повреда на пластини, допринасяйки за по-високи добиви и постоянно качество на продукта.

Транспортиране без приплъзване за непоколебима прецизност:Прецизното боравене с пластини е от решаващо значение за предотвратяване на щети и осигуряване на последователна обработка. Присъщата смазваща способност и ниският коефициент на триене на SiC Ceramic Wafer Boat създават естествена повърхност без приплъзване. Това позволява плавно, контролирано движение на пластината по време на товарене и разтоварване, минимизирайки риска от надраскване, отчупване или други повреди, които биха могли да компрометират целостта на пластината.