Слънчева графитна лодка

Semicorex Solar Graphite Boat служи като надеждна платформа за задържане на полупроводникови пластини по време на различни термични процеси, като отгряване, дифузия и отлагане. Неговата здрава конструкция и изключителна топлоустойчивост правят Solar Graphite Boat незаменим инструмент за производство на полупроводници, изследователски лаборатории и други напреднали индустриални приложения.

Проектирана с мисъл за гъвкавост, Solar Graphite Boat може да бъде персонализирана, за да отговори на специфичните изисквания на клиента. Независимо дали е покрита със силициев карбид (SiC) за повишена издръжливост и устойчивост на химическа корозия, или е оставена без покритие за приложения, където чистотата е от първостепенно значение, всяка Solar Graphite Boat е щателно изработена, за да осигури постоянна производителност и дълголетие.

Основните характеристики на Solar Graphite Boat включват:

Изключителна термична стабилност: Издържат на екстремни температури, срещани при обработката на полупроводници, осигурявайки равномерно разпределение на топлината и прецизен контрол върху топлинните цикли.

Графитна конструкция с висока чистота: Произведена от висококачествени графитни материали за минимизиране на замърсяването и поддържане на целостта на полупроводниковите пластини.

Прецизно инженерство: Проектиран да побира различни размери и конфигурации на пластини, с прецизни размери и повърхностни покрития, за да се осигури сигурно боравене и минимално увреждане на пластините.

Графитните части с TaC покритие играят основна роля в оптимизирането на ключови техники за обработка на полупроводници, включително процеси на дифузия, окислително отгряване, химическо отлагане на пари при ниско налягане (LPCVD) и плазмено усилено химическо отлагане на пари (PECVD). Чрез улесняване на прецизния контрол върху температурата и осигуряване на еднаквост в субстратите, графитните части с TaC покритие допринасят значително за подобряване на качеството на продукта и ефективността на производството.

Графитните части с TaC покритие на Semicorex са щателно проектирани, за да отговорят на строгите изисквания на производството на полупроводници. От подобряване на процесите на дифузия до подобряване на качеството и ефективността на различни техники за отлагане, графитните части с TaC покритие са незаменими активи в преследването на високи постижения в производството на полупроводници.