Силициева лодка за отгряване

Свръхвисока чистота за първични среди за обработка: Semicorex Silicon Annealing Boat, изработена от силиций със свръхвисока чистота (до 13N чистота), минимизира риска от замърсяване по време на високотемпературна обработка. Тази изключителна чистота гарантира, че вафлите са изложени на девствена среда, предотвратявайки въвеждането на нежелани примеси, които могат да влошат производителността на устройството и да намалят добива.

Намален контакт с пластини за минимизиране на щетите:Гладката, полирана повърхност на Silicon Annealing Boat свежда до минимум точките на контакт с пластините, като значително намалява риска от надраскване, отчупване или други механични повреди по време на транспортиране и обработка. Това внимателно боравене запазва целостта на пластините, като подобрява цялостния добив на процеса и допринася за по-високо качество на устройствата.

Дизайни с възможност за персонализиране за оптимизирана производителност: Конструкциите на лодките за силициево отгряване могат да бъдат пригодени да отговарят на специфични изисквания на процеса, включително вариации във формата на лодката, дължината, ъгъла и броя на опорните зъби на пластините. Това персонализиране позволява оптимизиране на динамиката на газовия поток, равномерността на температурата и разстоянието между пластините в пещта, осигурявайки последователни и повтарящи се резултати от обработката за широк диапазон от геометрии на устройства и параметри на процеса.

Висока граница на отлагане на полисилиций за продължителна работа:Силициевата лодка за отгряване представлява висока толерантност към отлагане на полисилиций, което позволява продължителна работа, преди да се наложи почистване или подмяна. Този удължен живот намалява времето за престой на оборудването, свързано с поддръжката, като допринася за увеличаване на производствения капацитет и по-ниски общи производствени разходи.