ICP компонентът с покритие от SiC на Semicorex е проектиран специално за процеси на обработка на пластини при висока температура като епитаксия и MOCVD. С фино кристално покритие SiC, нашите носители осигуряват превъзходна устойчивост на топлина, равномерна топлинна еднородност и трайна химическа устойчивост.
SiC-покритият ICP компонент на Semicorex е най-добрият избор за процеси на обработка на вафли, които изискват устойчивост на висока температура и химикали. Нашите носители осигуряват равномерни топлинни профили, модели на ламинарен газов поток и предотвратяват замърсяване или дифузия на примеси благодарение на нашия фин SiC кристал. С фино кристално покритие SiC, нашите носители осигуряват превъзходна устойчивост на топлина, равномерна топлинна еднородност и трайна химическа устойчивост.
В Semicorex ние се фокусираме върху предоставянето на висококачествени, рентабилни продукти на нашите клиенти. Нашият ICP компонент със SiC покритие има ценово предимство и се изнася на много европейски и американски пазари. Ние се стремим да бъдем ваш дългосрочен партньор, предоставяйки продукти с постоянно качество и изключително обслужване на клиентите.
Свържете се с нас днес, за да научите повече за нашия ICP компонент със SiC покритие.
Параметри на ICP компонент с SiC покритие
Основни спецификации на CVD-SIC покритие |
||
SiC-CVD свойства |
||
Кристална структура |
FCC β фаза |
|
Плътност |
g/cm³ |
3.21 |
твърдост |
Твърдост по Викерс |
2500 |
Размер на зърното |
μm |
2~10 |
Химическа чистота |
% |
99.99995 |
Топлинен капацитет |
J kg-1 K-1 |
640 |
Температура на сублимация |
℃ |
2700 |
Felexural Сила |
MPa (RT 4 точки) |
415 |
Модулът на Йънг |
Gpa (огъване 4 точки, 1300 ℃) |
430 |
Термично разширение (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлопроводимост |
(W/mK) |
300 |
Характеристики на ICP компонент с SiC покритие
- Избягвайте отлепването и осигурете покритие върху цялата повърхност
Устойчивост на високотемпературно окисляване: Стабилен при високи температури до 1600°C
Висока чистота: направено чрез CVD химическо отлагане на пари при условия на високотемпературно хлориране.
Устойчивост на корозия: висока твърдост, плътна повърхност и фини частици.
Устойчивост на корозия: киселини, основи, соли и органични реагенти.
- Постигане на най-добрия модел на ламинарен газов поток
- Гарантирана равномерност на термичния профил
- Предотвратете всякакво замърсяване или дифузия на примеси